高精度スキャニングプローブ SP600Q
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主な特長
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SP600Qは、CRYSTA-Apex S500シリーズに搭載可能な高精度スキャニングプローブです。 スキャニング測定（測定物に接触した状態で移動しながら、大量の座標値を収集する測定方法）のほか、高精度ポイント測定などが可能です。 CRYSTA-ApexS500シリーズのＺスピンドルに直付けすることにより、測定空間をより有効に利用することができます。
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スキャニング測定には、未知形状を自動追尾しながらスキャニングする方法（未知形状スキャニング）と軌跡を事前に与えてスキャニングさせる方法（既知形状スキャニング）とがあります。既知形状スキャニングでは、最大120mm/sでの高速スキャニングが可能です。従来、線や円などの幾何形状要素測定は、ポイント測定で評価することが普通でしたが、超精密加工における平面度や真円度評価については、より多くの測定点で評価することが、測定結果の信頼性を向上させることになります。しかし、これをタッチトリガープローブで1点1点測定するとなると、非常に時間がかかります。SP600Qであれば、例えばø100mmの内径を1000点測定する場合でも数秒で測定が完了します。必要とする測定精度に応じて、スキャニング速度を変え、より効率的に測定をすすめることができます。
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オートスタイラスチェンジシステムを用意しています。
仕様
| 符号 | SP600Q |
|---|---|
測定範囲 |
±1mm（X,Y,Z） |
最大測定子質量(g) |
20 |
測定子取付ネジ |
M4ネジ |
最小基準変位量(mm) |
0.15 |
測定力(N) |
0.17～1.18（18～120gf）プローブ変位量により変化 |
スプリングレート(N/mm) |
1.176 |
外観寸法図
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