高精度スキャニングプローブ SP600Q

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CRYSTA-Apex V500シリーズに搭載可能な高精度スキャニングプローブです。

主な特長

  • SP600Qは、CRYSTA-Apex S500シリーズに搭載可能な高精度スキャニングプローブです。
    スキャニング測定(測定物に接触した状態で移動しながら、大量の座標値を収集する測定方法)のほか、高精度ポイント測定などが可能です。
    CRYSTA-ApexS500シリーズのZスピンドルに直付けすることにより、測定空間をより有効に利用することができます。
  • スキャニング測定には、未知形状を自動追尾しながらスキャニングする方法(未知形状スキャニング)と軌跡を事前に与えてスキャニングさせる方法(既知形状スキャニング)とがあります。既知形状スキャニングでは、最大120mm/sでの高速スキャニングが可能です。従来、線や円などの幾何形状要素測定は、ポイント測定で評価することが普通でしたが、超精密加工における平面度や真円度評価については、より多くの測定点で評価することが、測定結果の信頼性を向上させることになります。しかし、これをタッチトリガープローブで1点1点測定するとなると、非常に時間がかかります。SP600Qであれば、例えばø100mmの内径を1000点測定する場合でも数秒で測定が完了します。必要とする測定精度に応じて、スキャニング速度を変え、より効率的に測定をすすめることができます。
  • オートスタイラスチェンジシステムを用意しています。

仕様

符号 SP600Q
 測定範囲
±1mm(X,Y,Z)
 最大測定子質量(g)
20
 測定子取付ネジ
M4ネジ
 最小基準変位量(mm)
0.15
 測定力(N)
0.17~1.18(18~120gf)プローブ変位量により変化
 スプリングレート(N/mm)
1.176

外観寸法図

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