高精度スキャニングプローブ SP80
主な特長
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SP80は、高精度と最大500mm(水平・垂直方向とも)のロングスタイラス搭載を可能にしたスキャニングプローブです。スキャニング測定(測定物に接触した状態で移動しながら、大量の座標値を収集する測定方法)の他、高精度ポイント測定や、求心ポイント測定によるデータ収集も可能なCNC三次元測定機用の多機能プローブです。
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スキャニング測定には、未知形状を自動追尾しながらスキャニングする方法(未知形状スキャニング)と軌跡を事前に与えてスキャニングさせる方法(既知形状スキャニング)とがあります。既知形状スキャニングでは、最大120mm/sでの高速スキャニングが可能です。従来、線や円などの幾何形状要素測定は、ポイント測定で評価することが普通でしたが、超精密加工における平面度や真円度評価については、より多くの測定点で評価することが、測定結果の信頼性を向上させることになります。しかし、これをタッチトリガープローブで1点1点測定するとなると、非常に時間がかかります。SP80であれば、例えばø100mmの内径を1000点測定する場合でも数秒で測定が完了します。必要とする測定精度に応じて、スキャニング速度を変え、より効率的に測定をすすめることができます。
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ロータリーテーブルMRT320を使った同期スキャニングやオートスタイラスチェンジシステムなどのオプションも用意しています。
仕様
符号 | SP80 |
---|---|
最大スキャニング速度(既知形状スキャニング時)(mm/s) |
120 |
最大測定子長さ(mm) |
500 |
最大測定子質量(g) |
500 |
測定子取付ネジ |
M5ネジ |
最大許容球面スキャニング形状誤差 |
三次元測定機本体による |
分解能(µm) |
0.02 |
スプリングレート(N/mm) |
1.8 |
質量(g) |
860 |
ご注意事項
スタイラスの長さや重量が増すと精度悪化する場合があります。
一部機種において取付けに制限を受ける、もしくは取付け不可の場合があります。
外観寸法図

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