プローブモジュール自動交換装置 MCR20
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仕様
| 符号 | MCR20 |
|---|---|
商品名 |
プローブモジュール自動交換装置 MCR20 |
プローブモジュール交換精度 |
繰返し位置決め精度1.0μm以下（自動交換時）…10mmスタイラス使用 ＊手動交換時は2.0μm以下。…50mmスタイラス使用時 |
プローブモジュール最大搭載数(本) |
6 |
外観寸法図
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