マニュアルプローブヘッド付タッチトリガープローブ MH20/MH20i

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位置決め可能なマニュアル(手動式)プローブヘッド付タッチトリガープローブです。

商品バリエーション

主な特長

  • プローブモジュール部は外形ø13.2mmと非常にコンパクトで、入り組んだ部位へのプロービングに便利なマニュアル(手動式)プローブヘッド付タッチトリガープローブです。また、50mmおよび70mmのエクステンション付きプローブモジュールも用意されています。
  • MH20iのプローブヘッド部は、手動で姿勢(方向)変更を行うことができるとともに、168姿勢への位置決め(位置決め再現精度σ≦1.5μm)が可能な構造になっています。姿勢変更を繰り返し必要とする複雑な立体形状測定の場合には、予め必要姿勢を登録しておけば、姿勢変更による再キャリブレーションが不要となり、測定効率の向上が図れます。

仕様

符号 MH20 MH20i
商品名
マニュアルプローブヘッド付タッチトリガープローブ MH20
マニュアルプローブヘッド付タッチトリガープローブ MH20i
トリガー発生力 XY(STANDARD FORCE)(N)
0.08
0.08
トリガー発生力 XY(MEDIUM FORCE)(N)
0.1
0.1
トリガー発生力 Z(STANDARD FORCE)(N)
0.75
0.75
トリガー発生力 Z(MEDIUM FORCE)(N)
1.9
1.9
オーバートラベル量 XY(°)
XY±14
±14
オーバートラベル量 Z(STANDARD FORCE)(mm)
4
+4.0
オーバートラベル量 Z(MEDIUM FORCE)(mm)
3.7
+3.7
オーバートラベル力 XY(STANDARD FORCE)(N)
0.2~0.3
0.2~0.3
オーバートラベル力 XY(MEDIUM FORCE)(N)
0.2~0.4
0.2~0.4
オーバートラベル力 Z(STANDARD FORCE)(N)
3.5
3.5
オーバートラベル力 Z(N)
7

                                                                                                      
姿勢方向 水平方向(°)
±300任意位置固定
±180(15°ピッチ)
姿勢方向 垂直方向(°)
±93
0~90(15°ピッチ)
繰返し精度
0.35以下(STANDARD FORCE 10mmスタイラス時)
2σ : 0.35 μm以下(STANDARD FORCE 10 mmスタイラス時)
方向性(XY:2D)
±0.8μm以下(STANDARD FORCE 10mmスタイラス時)、±2.5μm以下(50mmスタイラス時)
±0.8 μm以下(STANDARD FORCE 10 mmスタイラス時)、±2.5 μm以下(50 mmスタイラス時)
方向性(XYZ:3D)
±1μm以下(STANDARD FORCE 10mmスタイラス時)、±4μm以下(50mmスタイラス時)
±1 μm以下(STANDARD FORCE 10 mmスタイラス時)、±4 μm以下(50 mmスタイラス時)
耐久性(万回)
100
100
オーバートラベル力 Z(MEDIUM FORCE)(N)

                                                                                                      
10
測定子取付ネジ

                                                                                                      
M2ネジ
繰返し位置決め精度(µm)

                                                                                                      
σ≦1.5
質量(g)

                                                                                                      
250
その他

                                                                                                      
オーバートラベル力 Z:7N(MEDIUM FORCE)

外観寸法図

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