マニュアルプローブヘッド付タッチトリガープローブ MH20/MH20i
商品バリエーション
主な特長
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プローブモジュール部は外形ø13.2mmと非常にコンパクトで、入り組んだ部位へのプロービングに便利なマニュアル(手動式)プローブヘッド付タッチトリガープローブです。また、50mmおよび70mmのエクステンション付きプローブモジュールも用意されています。
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MH20iのプローブヘッド部は、手動で姿勢(方向)変更を行うことができるとともに、168姿勢への位置決め(位置決め再現精度σ≦1.5μm)が可能な構造になっています。姿勢変更を繰り返し必要とする複雑な立体形状測定の場合には、予め必要姿勢を登録しておけば、姿勢変更による再キャリブレーションが不要となり、測定効率の向上が図れます。
仕様
符号 | MH20 | MH20i |
---|---|---|
商品名 |
マニュアルプローブヘッド付タッチトリガープローブ MH20 |
マニュアルプローブヘッド付タッチトリガープローブ MH20i |
トリガー発生力 XY(STANDARD FORCE)(N) |
0.08 |
0.08 |
トリガー発生力 XY(MEDIUM FORCE)(N) |
0.1 |
0.1 |
トリガー発生力 Z(STANDARD FORCE)(N) |
0.75 |
0.75 |
トリガー発生力 Z(MEDIUM FORCE)(N) |
1.9 |
1.9 |
オーバートラベル量 XY(°) |
XY±14 |
±14 |
オーバートラベル量 Z(STANDARD FORCE)(mm) |
4 |
+4.0 |
オーバートラベル量 Z(MEDIUM FORCE)(mm) |
3.7 |
+3.7 |
オーバートラベル力 XY(STANDARD FORCE)(N) |
0.2~0.3 |
0.2~0.3 |
オーバートラベル力 XY(MEDIUM FORCE)(N) |
0.2~0.4 |
0.2~0.4 |
オーバートラベル力 Z(STANDARD FORCE)(N) |
3.5 |
3.5 |
オーバートラベル力 Z(N) |
7 |
|
姿勢方向 水平方向(°) |
±300任意位置固定 |
±180(15°ピッチ) |
姿勢方向 垂直方向(°) |
±93 |
0~90(15°ピッチ) |
繰返し精度 |
0.35以下(STANDARD FORCE 10mmスタイラス時) |
2σ : 0.35 μm以下(STANDARD FORCE 10 mmスタイラス時) |
方向性(XY:2D) |
±0.8μm以下(STANDARD FORCE 10mmスタイラス時)、±2.5μm以下(50mmスタイラス時) |
±0.8 μm以下(STANDARD FORCE 10 mmスタイラス時)、±2.5 μm以下(50 mmスタイラス時) |
方向性(XYZ:3D) |
±1μm以下(STANDARD FORCE 10mmスタイラス時)、±4μm以下(50mmスタイラス時) |
±1 μm以下(STANDARD FORCE 10 mmスタイラス時)、±4 μm以下(50 mmスタイラス時) |
耐久性(万回) |
100 |
100 |
オーバートラベル力 Z(MEDIUM FORCE)(N) |
10 |
|
測定子取付ネジ |
M2ネジ |
|
繰返し位置決め精度(µm) |
σ≦1.5 |
|
質量(g) |
250 |
|
その他 |
オーバートラベル力 Z:7N(MEDIUM FORCE) |
外観寸法図
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