プローブモジュール自動交換装置 MCR20

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プローブモジュール自動交換装置 MCR20

仕様

符号 MCR20
 プローブモジュール交換精度
繰返し位置決め精度1.0μm以下(自動交換時)…10mmスタイラス使用
*手動交換時は2.0μm以下。…50mmスタイラス使用時
 プローブモジュール最大搭載数(本)
6

外観寸法図

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