超高精度CNC三次元測定機 LEGEX
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商品バリエーション
主な特長
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LEGEXシリーズは、誤差要因を徹底的に分析、排除した、世界最高クラスの精度を誇る超高精度CNC三次元測定機です。
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本体ベース部は、素材を厳選し、高剛性、高減衰性を実現するため密閉化構造を採用しています。さらに、FEM構造解析シミュレーションを用いた応力分析を徹底的に行い、荷重変動などによる変形を最小限にした幾何学運動精度を保証します。その他にも駆動部の構造、振動対策など、超高精度を実現するため数々の技術を投入しております。
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位置検出用の測長ユニットには、熱膨張係数≒0の超高精度結晶化ガラススケールと高分解能の高性能反射形リニアエンコーダの組み合わせによる、超高精度測長ユニット（自社製）が搭載され、極めて高い位置検出能力を有し、超高精度機制御を可能にしています。
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超高精度機の設置環境は、恒温室クラスが必要でしたが、温度補正機能により、幅広い温度環境下での精度保証を可能にしています。
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幅広いワークを簡単かつ超高精度な測定サポートをするために、プローブ（接触形、非接触形）、データ処理装置をはじめ数々のオプションをご用意しております。
仕様
| 符号 | LEGEX574 | LEGEX774 | LEGEX776 | LEGEX9106 |
|---|---|---|---|---|
測定範囲 X軸(mm) |
500 |
700 |
700 |
900 |
測定範囲 Y軸(mm) |
700 |
700 |
700 |
1000 |
測定範囲 Z軸(mm) |
450 |
450 |
600 |
600 |
駆動速度 CNC mode 最大合成速度(AUTO)(mm/s) |
200 |
200 |
200 |
200 |
駆動加速度(最大合成加速度)(mm/s²) |
980 |
980 |
980 |
980 |
最小表示量(mm) |
0.00001 |
0.00001 |
0.00001 |
0.00001 |
最大許容長さ測定誤差 E0, MPE(µm) |
0.28+L/1000(MPP310Q使用時) |
0.28+L/1000(MPP310Q使用時) |
0.28+L/1000(MPP310Q使用時) |
0.28+L/1000(MPP310Q使用時) |
案内方式(各軸) |
エアベアリング |
エアベアリング |
エアベアリング |
エアベアリング |
測長ユニット |
リニアエンコーダ |
リニアエンコーダ |
リニアエンコーダ |
リニアエンコーダ |
測定物 最大高さ(mm) |
700 |
700 |
850 |
850 |
本体使用空気圧(MPa) |
0.5 |
0.5 |
0.5 |
0.5 |
本体空気消費量(L/min) |
120 （空気源としては160以上） |
120 （空気源としては160以上） |
120 （空気源としては160以上） |
120 （空気源としては160以上） |
測定テーブル 材質 |
鋳鉄 |
鋳鉄 |
鋳鉄 |
鋳鉄 |
精度保証 温度(℃) |
19~21 |
19~21 |
19~21 |
19~21 |
精度保証 温度変化(℃/H) |
0.5/1 |
0.5/1 |
0.5/1 |
0.5/1 |
測定テーブル 大きさ(載物面)(mm) |
550 x 750 |
750 x 750 |
750 x 750 |
950 x 1050 |
測定物 最大積載質量(kg) |
250 |
500 |
500 |
800 |
測定テーブル 測定物固定方法(mm) |
M8 x 1.25 |
M8 x 1.25 |
M8 x 1.25 |
M8 x 1.25 |
本体質量(除振台・コントローラ含む)(kg) |
3500 |
5000 |
5100 |
6500 |
外観寸法図
各種ダウンロード
超高精度CNC三次元測定機 LEGEXシリーズ
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