超高精度CNC三次元測定機 LEGEX

最小表示量(mm) : 0.00001 測定範囲 X軸(mm) : 500 測定範囲 Y軸(mm) : 700 測定範囲 Z軸(mm) : 450
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世界最高クラスの精度を誇る超高精度CNC三次元測定機

商品バリエーション

商品紹介動画

超高精度CNC三次元測定機 LEGEXシリーズ 測定誤差の要因を徹底的に分析、排除した世界最高精度を誇る三次元測定機。

主な特長

  • LEGEXシリーズは、誤差要因を徹底的に分析、排除した、世界最高クラスの精度を誇る超高精度CNC三次元測定機です。
  • 本体ベース部は、素材を厳選し、高剛性、高減衰性を実現するため密閉化構造を採用しています。さらに、FEM構造解析シミュレーションを用いた応力分析を徹底的に行い、荷重変動などによる変形を最小限にした幾何学運動精度を保証します。その他にも駆動部の構造、振動対策など、超高精度を実現するため数々の技術を投入しております。
  • 位置検出用の測長ユニットには、熱膨張係数≒0の超高精度結晶化ガラススケールと高分解能の高性能反射形リニアエンコーダの組み合わせによる、超高精度測長ユニット(自社製)が搭載され、極めて高い位置検出能力を有し、超高精度機制御を可能にしています。
  • 超高精度機の設置環境は、恒温室クラスが必要でしたが、温度補正機能により、幅広い温度環境下での精度保証を可能にしています。
  • 幅広いワークを簡単かつ超高精度な測定サポートをするために、プローブ(接触形、非接触形)、データ処理装置をはじめ数々のオプションをご用意しております。

仕様

符号 LEGEX574 LEGEX774 LEGEX776 LEGEX9106
 測定範囲 X軸(mm)
500
700
700
900
 測定範囲 Y軸(mm)
700
700
700
1000
 測定範囲 Z軸(mm)
450
450
600
600
 駆動速度 CNC mode 最大合成速度(AUTO)(mm/s)
200
200
200
200
 駆動加速度(最大合成加速度)(mm/s²)
980
980
980
980
 最小表示量(mm)
0.00001
0.00001
0.00001
0.00001
 案内方式(各軸)
エアベアリング
エアベアリング
エアベアリング
エアベアリング
 測長ユニット
リニアエンコーダ
リニアエンコーダ
リニアエンコーダ
リニアエンコーダ
 測定物 最大高さ(mm)
700
700
850
850
 本体使用空気圧(MPa)
0.5
0.5
0.5
0.5
 本体空気消費量(L/min)
120 L/min( 空気源としては160 L/min以上)
120 L/min( 空気源としては160 L/min以上)
120 L/min( 空気源としては160 L/min以上)
120 L/min( 空気源としては160 L/min以上)
 測定テーブル 材質
鋳鉄
鋳鉄
鋳鉄
鋳鉄
 測定テーブル 大きさ(載物面)(mm)
550×750
750×750
750×750
950×1050
 測定物 最大積載質量(kg)
250
500
500
800
 その他
【本体精度】
長さ測定誤差(μm):E0,MPE=0.28+L/1000~ (MPP310Q使用時) 
L=任意測定長(単位:mm)
【本体精度】
長さ測定誤差(μm):E0,MPE=0.28+L/1000~ (MPP310Q使用時) 
L=任意測定長(単位:mm)
【本体精度】
長さ測定誤差(μm):E0,MPE=0.28+L/1000~ (MPP310Q使用時) 
L=任意測定長(単位:mm)
【本体精度】
長さ測定誤差(μm):E0,MPE=0.28+L/1000~ (MPP310Q使用時) 
L=任意測定長(単位:mm)

外観寸法図

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