3D測定用 Y軸テーブル
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主な特長
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3D表面性状測定を可能とする位置決め用Y軸テーブルです。三次元表面性状解析ソフトウェアMCubeMapと合わせて使用することで高度な3D表面性状解析が可能になります。
仕様
コードNo. |
178-096 |
|---|---|
商品名 |
3D測定用Y軸テーブル |
分解能(µm) |
0.05 |
最大駆動速度(mm/s) |
20 |
ステージ移動範囲(mm) |
±12.5 |
真直精度 |
0.3 μm / 100 mm |
最大積載質量(kg) |
15 |
移動範囲(Y軸)(mm) |
100 |
質量(kg) |
31 |
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