CNC表面粗さ測定機 SURFTEST Extreme SV-M3000 CNC
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主な特長
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エンジンブロック、クランクシャフト等の大型・重量ワークに対応したCNC表面粗さ測定機です。
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X1・Y・Z2軸の最大駆動速度は、最大200mm/sで高速位置決めでき、複数断面測定や複数ワーク測定の高スループット化が可能です。
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コラム（Z2軸）移動構造を採用した評価型表面粗さ測定機です。小型表面粗さ測定機（ハンディータイプ）を用いて、製造現場でしか評価できなかった大型・重量ワークの表面粗さ測定をすることも可能です。
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検出器ホルダはご用途に合わせて下記3種類から選択頂けます。 ①標準型（検出器：下向き） ②ロング型（検出器：下向き＋深穴等への対応可） ③ 回転型（検出器：下向き、上向き、前向き、後ろ向きの4段階切替え）
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耐荷重100kgの大型回転テーブル（オプション）にも特注対応可能です。
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Z1軸検出器は、測定力4mNタイプと0.75mNタイプの2種類より選択可能です。
仕様
| 符号 | SV-M3000CNC | SV-M3000CNC |
|---|---|---|
測定範囲 X軸(mm) |
200 |
200 |
測定範囲 Y軸(mm) |
800 |
800 |
駆動速度 J/S mode X軸(mm/s) |
0～50 |
0～50 |
駆動速度 J/S mode Y軸(mm/s) |
0～50 |
0～50 |
駆動速度 J/S mode Z2軸(mm/s) |
0～50 |
0～50 |
分解能 X軸(µm) |
0.05 |
0.05 |
分解能 Y軸(µm) |
0.05 |
0.05 |
分解能 Z1軸 表面粗さ(µm) |
0.05 |
0.05 |
測定方向 表面粗さ |
引き方向 |
引き方向 |
測定速度 X軸 表面粗さ(mm/s) |
0.02～2 |
0.02～2 |
測定速度 Y軸(mm/s) |
0.02〜２ |
0.02〜２ |
駆動速度 CNC mode X軸(mm/s) |
最大200 |
最大200 |
駆動範囲 Z2軸(mm) |
300 |
300 |
駆動速度 CNC mode Y軸(mm/s) |
最大200 |
最大200 |
駆動速度 CNC mode Z2軸(mm/s) |
最大200 |
最大200 |
真直精度 X軸 標準検出器 |
0.5μm/200mm |
0.5μm/200mm |
真直精度 X軸 ロング型検出器 |
0.7μm/200mm |
0.7μm/200mm |
真直精度 X軸 回転型上下 |
0.5μm/200mm |
0.5μm/200mm |
真直精度 X軸 回転型前後 |
0.7μm/200mm |
0.7μm/200mm |
X軸システムノイズ(ロング型検出器ホルダ使用時)(µm) |
Rz<0.2 |
Rz<0.2 |
X軸システムノイズ(回転型検出器ホルダ使用時)上下方向(µm) |
Rz<0.2 |
Rz<0.2 |
X軸システムノイズ(回転型検出器ホルダ使用時)前後方向(µm) |
Rz<0.4 |
Rz<0.4 |
X軸システムノイズ(標準型検出器ホルダ使用時)(µm) |
Rz<0.1 |
Rz<0.1 |
真直精度 Y軸 標準検出器 狭範囲 |
0.5μm/50mm |
0.5μm/50mm |
真直精度 Y軸 標準検出器 広範囲 |
2μm/800mm |
2μm/800mm |
真直精度 Y軸 ロング型検出器 狭範囲 |
0.7μm/50mm |
0.7μm/50mm |
真直精度 Y軸 ロング型検出器 広範囲 |
3μm/800mm |
3μm/800mm |
真直精度 Y軸 回転型 上下 狭範囲 |
0.7μm/50mm |
0.7μm/50mm |
真直精度 Y軸 回転型 上下 広範囲 |
3μm/800mm |
3μm/800mm |
Y軸システムノイズ(ロング型検出器ホルダ使用時)(µm) |
Rz<0.3 |
Rz<0.3 |
Y軸システムノイズ(回転型検出器ホルダ使用時)(µm) |
Rz<0.3 |
Rz<0.3 |
Y軸システムノイズ(標準型検出器ホルダ使用時)(µm) |
Rz<0.2 |
Rz<0.2 |
測長ユニット X軸 |
反射形リニアエンコーダ |
反射形リニアエンコーダ |
測長ユニット Y軸 |
反射形リニアエンコーダ |
反射形リニアエンコーダ |
測長ユニット Z2軸 |
反射形リニアエンコーダ |
反射形リニアエンコーダ |
最大積載質量 ベース部(kg) |
300 |
300 |
除振台/ユニット 減衰機構 |
ダイヤフラム型空気ばね |
ダイヤフラム型空気ばね |
除振台/ユニット 除震機構 |
メカニカルバルブによる自動制御 |
メカニカルバルブによる自動制御 |
除振台/ユニット 供給空気圧(MPa) |
0.4 |
0.4 |
ベース材質 |
はんれい岩 |
はんれい岩 |
保存環境湿度範囲(非結露)(%RH) |
-10～50°C、5～90（ただし、結露しないこと） |
-10～50°C、5～90（ただし、結露しないこと） |
使用環境湿度範囲(非結露)(%RH) |
15～25°C、20～80（ただし、結露しないこと） |
15～25°C、20～80（ただし、結露しないこと） |
ベースサイズ(mm) |
750×600 |
750×600 |
本体(mm) |
800×620×1000 |
800×620×1000 |
本体質量(kg) |
240 |
240 |
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