QVH4 HYPER 302/404/606 Pro
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商品バリエーション
商品紹介動画
全機種にストロボ照明を搭載 画像測定の常識を覆す圧倒的なスループットで生産性向上を実現
主な特長
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非接触変位センサを搭載しスキャニング機能により微細段差や3D形状測定を可能にした複合測定機です。
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波長コンフォーカル方式の非接触変位センサ（クロマチックポイントセンサ）を搭載しています。
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変位センサの光源にLEDを使用し、光源の自動調光機能により反射率の異なる材質でも連続して測定が可能です。
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ストロボ照明を搭載しており、ステージ静定時間を短縮した高スループット測定が可能です。
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デジタル変倍機能により、さらなる拡大表示が可能となりました。
仕様
| 符号 | QVH4A-H302P1L-E | QVH4A-H404P1L-E | QVH4A-H606P1L-E |
|---|---|---|---|
コードNo. |
365-605-10 |
365-615-10 |
365-625-10 |
測定範囲(XxYxZ)(mm) |
300 x 200 x 200 |
400 x 400 x 250 |
600 x 650 x 250 |
変位センサ画像 共通測定範囲(XxYxZ)mm(HYBRID TYPE4) |
176 x 200 x 200 |
276 x 400 x 250 |
476 x 650 x 250 |
測定精度(µm)EUX/EUY,MPE |
(0.8+2L/1000) |
(0.8+2L/1000) |
(0.8+2L/1000) |
測定精度(µm)EUXY,MPE |
(1.4+3L/1000) |
(1.4+3L/1000) |
(1.4+3L/1000) |
測定精度(µm)EUZ,MPE |
(1.5+2L/1000) |
(1.5+2L/1000) |
(1.5+2L/1000) |
変位センサ(E1Z軸)(um) |
(1.5+2L/1000) |
(1.5+2L/1000) |
(1.5+2L/1000) |
観察装置 |
プログラム制御パワーターレット 1x, 2x, 6x, (デジタル変倍12x)系 |
プログラム制御パワーターレット 1x, 2x, 6x, (デジタル変倍12x)系 |
プログラム制御パワーターレット 1x, 2x, 6x, (デジタル変倍12x)系 |
照明 垂直落射照明 |
白色LED |
白色LED |
白色LED |
照明 透過照明 |
白色LED |
白色LED |
白色LED |
照明 リング照明 |
白色LED |
白色LED |
白色LED |
温度補正機能 |
自動温度補正 |
自動温度補正 |
自動温度補正 |
測定物 最大積載質量(kg) |
15 |
30 |
40 |
本体質量(設置台含む)(kg) |
365 |
650 |
1475 |
載物ガラス寸法(mm) |
399 x 271 |
493 x 551 |
697 x 758 |
本体外観寸法(WxDxH)(mm) |
930 x 866 x 1047 (突起部を除く/専用設置台を含まず) |
1426 x 1118 x 1381 (突起部を除く/専用設置台を含まず) |
1994 x 1400 x 1572 (突起部を除く/専用設置台を含まず) |
本体質量(kg) |
270 |
550 |
1340 |
その他 |
スケール分解能：0.02 μm |
スケール分解能：0.02 μm |
スケール分解能：0.02 μm |
外観寸法図
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