表面粗さ・輪郭形状測定機 FORMTRACER Avant H3000シリーズ

商品バリエーション

525-241-10 FTA-S4H3000-E 測定範囲 X軸(mm):100

525-242-10 FTA-H4H3000-E 測定範囲 X軸(mm):100

525-243-10 FTA-W4H3000-E 測定範囲 X軸(mm):100

525-244-10 FTA-L4H3000-E 測定範囲 X軸(mm):100

525-246-10 FTA-S8H3000-E 測定範囲 X軸(mm):200

525-247-10 FTA-H8H3000-E 測定範囲 X軸(mm):200

525-248-10 FTA-W8H3000-E 測定範囲 X軸(mm):200

525-249-10 FTA-L8H3000-E 測定範囲 X軸(mm):200

主な特長

• 新開発のH3000検出器により高分解能・高精度・ワイドレンジを実現

• ワントレースで輪郭・粗さ評価が可能

• H3000検出器は従来FTAシリーズに増設可能

• スタイラスラインアップの拡充により幅広い測定シーンに対応

仕様

符号	FTA-S4H3000-E	FTA-H4H3000-E	FTA-W4H3000-E	FTA-L4H3000-E	FTA-S8H3000-E	FTA-H8H3000-E	FTA-W8H3000-E	FTA-L8H3000-E
コードNo.	525-241-10	525-242-10	525-243-10	525-244-10	525-246-10	525-247-10	525-248-10	525-249-10
測定範囲 X軸(mm)	100	100	100	100	200	200	200	200
分解能 X軸(µm)	0.05	0.05	0.05	0.05	0.05	0.05	0.05	0.05
分解能 Z2軸 (µm)	1	1	1	1	1	1	1	1
測定速度 X軸 表面粗さ(mm/s)	0.02, 0.05, 0.1, 0.2, 0.5	0.02, 0.05, 0.1, 0.2, 0.5	0.02, 0.05, 0.1, 0.2, 0.5	0.02, 0.05, 0.1, 0.2, 0.5	0.02, 0.05, 0.1, 0.2, 0.5	0.02, 0.05, 0.1, 0.2, 0.5	0.02, 0.05, 0.1, 0.2, 0.5	0.02, 0.05, 0.1, 0.2, 0.5
駆動速度 X軸(mm/s)	ソフトウェア：0~80、リモートボックス操作：0~40	ソフトウェア：0~80、リモートボックス操作：0~40	ソフトウェア：0~80、リモートボックス操作：0~40	ソフトウェア：0~80、リモートボックス操作：0~40	ソフトウェア：0~80、リモートボックス操作：0~40	ソフトウェア：0~80、リモートボックス操作：0~40	ソフトウェア：0~80、リモートボックス操作：0~40	ソフトウェア：0~80、リモートボックス操作：0~40
駆動範囲 Z2軸(mm)	300	500	500	700	300	500	500	700
測定速度 X軸 輪郭形状(mm/s)	0.02, 0.05, 0.1, 0.2, 0.5, 1.0, 2.0, 5.0, 10, 20, 30 *1	0.02, 0.05, 0.1, 0.2, 0.5, 1.0, 2.0, 5.0, 10, 20, 30 *1	0.02, 0.05, 0.1, 0.2, 0.5, 1.0, 2.0, 5.0, 10, 20, 30 *1	0.02, 0.05, 0.1, 0.2, 0.5, 1.0, 2.0, 5.0, 10, 20, 30 *1	0.02, 0.05, 0.1, 0.2, 0.5, 1.0, 2.0, 5.0, 10, 20, 30 *1	0.02, 0.05, 0.1, 0.2, 0.5, 1.0, 2.0, 5.0, 10, 20, 30 *1	0.02, 0.05, 0.1, 0.2, 0.5, 1.0, 2.0, 5.0, 10, 20, 30 *1	0.02, 0.05, 0.1, 0.2, 0.5, 1.0, 2.0, 5.0, 10, 20, 30 *1
測定範囲 Z1軸 標準(mm)	16	16	16	16	16	16	16	16
分解能 Z1軸 標準(µm)	0.0003	0.0003	0.0003	0.0003	0.0003	0.0003	0.0003	0.0003
駆動速度 Z2軸(mm/s)	ソフトウェア：0~30、リモートボックス操作：0~30	ソフトウェア：0~30、リモートボックス操作：0~30	ソフトウェア：0~30、リモートボックス操作：0~30	ソフトウェア：0~30、リモートボックス操作：0~30	ソフトウェア：0~30、リモートボックス操作：0~30	ソフトウェア：0~30、リモートボックス操作：0~30	ソフトウェア：0~30、リモートボックス操作：0~30	ソフトウェア：0~30、リモートボックス操作：0~30
スタイラス先端形状 表面粗さ	先端半径2 μm/先端角度60° /ダイヤモンド(標準スタイラス)	先端半径2 μm/先端角度60° /ダイヤモンド(標準スタイラス)	先端半径2 μm/先端角度60° /ダイヤモンド(標準スタイラス)	先端半径2 μm/先端角度60° /ダイヤモンド(標準スタイラス)	先端半径2 μm/先端角度60° /ダイヤモンド(標準スタイラス)	先端半径2 μm/先端角度60° /ダイヤモンド(標準スタイラス)	先端半径2 μm/先端角度60° /ダイヤモンド(標準スタイラス)	先端半径2 μm/先端角度60° /ダイヤモンド(標準スタイラス)
スタイラス先端形状 輪郭形状	先端半径25 μm/先端角度30° /サファイヤ(円すいスタイラス)	先端半径25 μm/先端角度30° /サファイヤ(円すいスタイラス)	先端半径25 μm/先端角度30° /サファイヤ(円すいスタイラス)	先端半径25 μm/先端角度30° /サファイヤ(円すいスタイラス)	先端半径25 μm/先端角度30° /サファイヤ(円すいスタイラス)	先端半径25 μm/先端角度30° /サファイヤ(円すいスタイラス)	先端半径25 μm/先端角度30° /サファイヤ(円すいスタイラス)	先端半径25 μm/先端角度30° /サファイヤ(円すいスタイラス)
真直精度 X軸 標準スタイラス	Pt: 0.2 μm/100 mm *2	Pt: 0.2 μm/100 mm *2	Pt: 0.2 μm/100 mm *2	Pt: 0.2 μm/100 mm *2	Pt: 0.6 μm/200 mm *2	Pt: 0.6 μm/200 mm *2	Pt: 0.6 μm/200 mm *2	Pt: 0.6 μm/200 mm *2
真直精度 X軸 輪郭形状	±(0.8+0.01L) L=駆動長さ(mm) 広範囲：1.8 μm/100 mm、狭範囲：1.05 μm/25 mm	±(0.8+0.01L) L=駆動長さ(mm) 広範囲：1.8 μm/100 mm、狭範囲：1.05 μm/25 mm	±(0.8+0.01L) L=駆動長さ(mm) 広範囲：1.8 μm/100 mm、狭範囲：1.05 μm/25 mm	±(0.8+0.01L) L=駆動長さ(mm) 広範囲：1.8 μm/100 mm、狭範囲：1.05 μm/25 mm	±(0.8+0.015L) L=駆動長さ(mm) 広範囲：3.8 μm/200 mm、狭範囲：1.2 μm/25 mm	±(0.8+0.015L) L=駆動長さ(mm) 広範囲：3.8 μm/200 mm、狭範囲：1.2 μm/25 mm	±(0.8+0.015L) L=駆動長さ(mm) 広範囲：3.8 μm/200 mm、狭範囲：1.2 μm/25 mm	±(0.8+0.015L) L=駆動長さ(mm) 広範囲：3.8 μm/200 mm、狭範囲：1.2 μm/25 mm
指示精度 Z1軸 輪郭形状	±(0.5+|2H|/100) H=水平位置からの測定高さ(mm)	±(0.5+|2H|/100) H=水平位置からの測定高さ(mm)	±(0.5+|2H|/100) H=水平位置からの測定高さ(mm)	±(0.5+|2H|/100) H=水平位置からの測定高さ(mm)	±(0.5+|2H|/100) H=水平位置からの測定高さ(mm)	±(0.5+|2H|/100) H=水平位置からの測定高さ(mm)	±(0.5+|2H|/100) H=水平位置からの測定高さ(mm)	±(0.5+|2H|/100) H=水平位置からの測定高さ(mm)
X軸傾斜角度(°)	±45	±45	±45	±45	±45	±45	±45	±45
測長ユニット Z1軸	円弧スケール	円弧スケール	円弧スケール	円弧スケール	円弧スケール	円弧スケール	円弧スケール	円弧スケール
スタイラス上下動	円弧運動	円弧運動	円弧運動	円弧運動	円弧運動	円弧運動	円弧運動	円弧運動
測定力 標準(mN)	0.75	0.75	0.75	0.75	0.75	0.75	0.75	0.75
通信インターフェイス	USB	USB	USB	USB	USB	USB	USB	USB
ベース材質	はんれい岩	はんれい岩	はんれい岩	はんれい岩	はんれい岩	はんれい岩	はんれい岩	はんれい岩
ベースサイズ(mm)	600×450	600×450	1000×450	1000×450	600×450	600×450	1000×450	1000×450
リモートボックス(mm)	W248×D102×H62	W248×D102×H62	W248×D102×H62	W248×D102×H62	W248×D102×H62	W248×D102×H62	W248×D102×H62	W248×D102×H62
リモートボックス 質量(kg)	0.9	0.9	0.9	0.9	0.9	0.9	0.9	0.9
本体(mm)	W759×D482×H966	W759×D482×H1166	W1159×D482×H1176	W1159×D492×H1430	W769×D482×H966	W769×D482×H1166	W1169×D482×H1176	W1169×D492×H1430
本体質量(kg)	140	150	220	270	140	150	220	270
電源	100~120 V, 200~240 V ±10%, AC50/60 Hz	100~120 V, 200~240 V ±10%, AC50/60 Hz	100~120 V, 200~240 V ±10%, AC50/60 Hz	100~120 V, 200~240 V ±10%, AC50/60 Hz	100~120 V, 200~240 V ±10%, AC50/60 Hz	100~120 V, 200~240 V ±10%, AC50/60 Hz	100~120 V, 200~240 V ±10%, AC50/60 Hz	100~120 V, 200~240 V ±10%, AC50/60 Hz
消費電力	400 W	400 W	400 W	400 W	400 W	400 W	400 W	400 W

ご注意事項

*1：定速度5mm以下での測定を推奨します。（測定速度が速いと表面性状により、スタイラス触針部の欠け、または測定精度が悪化する恐れがあります）

*2：オプチカルフラットを測定速度1.0 mm/s、引き測定、λｓ0.8 mmで測定

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