テクノロジーTOP
トレーサビリティ
保有技術と設備
品質保証体系
認定事業者
規格に関する情報
製品への応用技術
保有技術と設備

MEMS技術

MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)技術を利用し、極微小な内径が測定可能なプローブを自社で開発しています。

UMAP probe / Micro EDM

UMAP probe / Micro EDM

Micro EDM(マイクロ放電加工機)

Micro EDM(マイクロ放電加工機)



MEMS 装置

MEMS技術を使用した各種センサが開発されています。

ICP エッチング装置(Si-MEMS用)

ICP エッチング装置(Si-MEMS用)

応用例 マイクロ加速度センサ

応用例 マイクロ加速度センサ