UMAP Vision System
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商品バリエーション
主な特長
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最小径15µmのスタイラスにより、微細領域の接触測定が可能です。
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最小1µN（UMAP103）の超低測定力により、変形しやすいワークでも測定が可能です。
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スタイラス径の異なるUMAPを最大3種類まで組み合わせ可能。脱着交換はお客様自身で行えます。
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UMAPでの接触測定と画像方式による非接触測定を1台で実現。目視困難な部分でも、画像モードで位置決めを行い、その後UMAPによる狙いこみ測定が可能です。
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高NAと低ディストーションの高性能対物レンズと新光学系の採用により、高いエッジ検出能力を発揮します。
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基準となる測長系には、線膨張係数（0±0.02）×10⁻⁶Kの低膨張ガラススケールを採用し、温度変化によるスケールの伸縮を最小限に抑えています。
仕様
| 符号 | UVS2-H302P1L-E | UVS2-U404P1L-E |
|---|---|---|
コードNo. |
364-714-10 |
364-718-10 |
測定範囲(XxYxZ)(mm) |
300 x 200 x 200 |
400 x 400 x 200 |
UMAP画像 共通測定範囲(XxYxZ)(mm) |
185 x 200 x 175 |
285 x 400 x 175 |
測定精度(E1XY軸)(um) |
(1.7+3L/1000) |
(1.5+3L/1000) |
測定精度(µm)EUX/EUY,MPE |
(0.8+2L/1000) |
(0.35+1.3L/1000) |
測定精度(µm)EUXY,MPE |
(1.4+3L/1000) |
(0.5+2L/1000) |
測定精度(µm)EUZ,MPE |
(1.5+2L/1000) |
(1.5+2L/1000) |
観察装置 |
プログラム制御パワーターレット 1x, 2x, 6x, (デジタル変倍12x)系 |
プログラム制御パワーターレット 1x, 2x, 6x, (デジタル変倍12x)系 |
照明 垂直落射照明 |
白色LED |
白色LED |
照明 透過照明 |
白色LED |
白色LED |
照明 リング照明 |
白色LED |
白色LED |
温度補正機能 |
自動温度補正 |
自動温度補正 |
使用空気圧(MPa) |
0.4 |
0.4 |
精度保証 温度変化(℃/H) |
0.5/1,1/24 |
0.5/1,1/24 |
測定物 最大積載質量(kg) |
15 |
40 |
本体質量(設置台含む)(kg) |
365 |
2185 |
載物ガラス寸法(mm) |
399 x 271 |
493 x 551 |
本体外観寸法(WxDxH)(mm) |
930 × 866 × 1612 (突起部を除く) |
1736 × 1172 × 1910 mm (突起部を除く) |
本体質量(kg) |
280 |
2160 |
その他 |
撮像素子：B&W CMOSデジタルカメラ 測定精度 ストリーム（オプション）E1X, E1Y：（1.5+3 L/1000） μm 測定精度 ストリーム（オプション）E2XY：（2.0+4 L/1000） μm 精度保証光学条件：2.5倍対物レンズ（QV-HR2.5xまたはQV-SL2.5x）、および中倍チューブレンズ使用時 繰返し精度 UMAP101, 103, 107：σ≦0.1 μm 繰返し精度 UMAP110, 130：σ≦0.15 μm |
等価照明を使用した場合の有効測定範囲：360 x 400 x 200 mm 撮像素子：B&W CMOSデジタルカメラ 測定精度 ストリーム（オプション）E1X, E1Y：（1.5+3 L/1000） μm 測定精度 ストリーム（オプション）E2XY：（2.0+4 L/1000） μm 精度保証光学条件：5倍対物レンズ（QV-5xまたはQV-HR5x）、および中倍チューブレンズ使用時 画面内繰り返し精度：3σ≦0.2 μm 繰返し精度 UMAP101, 103, 107：σ≦0.08 μm 繰返し精度 UMAP110, 130：σ≦0.12 μm 必要空気流量：300 L/min（ANR）使用空気圧力 |
外観寸法図
各種ダウンロード
微細形状測定システム UMAP Vision System
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