QV ACCEL 808/1010
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主な特長
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拡大撮像により、測定物の微細形状を測定します 光学レンズで測定物を拡大撮像。軽薄短小な電子半導体部品、微小な精密加工品医療機器部品などの測定に有用性を示します。
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非接触測定により、測定物の破損変形汚損などを防ぎます 非接触測定のため、測定物へのダメージの恐れがありません。清浄度が求められる電子半導体部品、樹脂成形品などの軟質物、プレス成形品などの薄物の測定に適しています。
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測定物を、高速度に多点測定します 培われた画像処理技術と高速ステージ制御による高スループット測定が可能。測定項目が多い、あるいは量産される測定物の工程管理に適しています。
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高精度な非接触高さ測定が可能です高性能な画像オートフォーカスや非接触変位センサにより、高精度な高さ測定が可能です。
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立体物を動かさずに測定 タッチトリガープローブ タッチトリガープローブとの併用で、測定物を回転させずに任意の高さで側面も測定でき、従来は困難であった立体物の測定も可能です。
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高性能マルチオートフォーカス QVシリーズは高性能画像オートフォーカスを標準装備しており、画像オートフォーカスで精度保証を行います。 多彩なオートフォーカスツールにより表面性状や測定部位毎に最適なフォーカスが選択でき、信頼性の高い高さ測定が可能です。またオートフォーカススピードも高速で、トータル測定スループットアップを実現します。
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本体構造に門移動を採用した大物測定用の画像測定機です。
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門移動構造はステージが移動しないためワークの固定方法を簡素化でき軽薄短小ワークに適しています。
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QV ACCEL1212(測定範囲 :1250×1250×100 mm)、 QV ACCEL1517(測定範囲 :1500×1750×100 mm)は特注にて対応可能です。
仕様
符号 | QV-A808P1L-D | QV-A1010P1L-D |
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コードNo. |
363-315-20 |
363-335-20 |
測定範囲(XxYxZ)(mm) |
800 x 800 x 150 |
1000 x 1000 x 150 |
最小表示量(µm) |
0.1 |
0.1 |
測定精度(E1XY軸)(um) |
(1.5+3L/1000) |
(1.5+3L/1000) |
測定精度(E1Z軸)(um) |
(1.5+4L/1000) |
(1.5+4L/1000) |
測定精度(E2XY平面)(um) |
(2.5+4L/1000) |
(2.5+4L/1000) |
観察装置 |
プログラム制御パワータレット 1x, 2x, 6x |
プログラム制御パワータレット 1x, 2x, 6x |
照明 垂直落射照明 |
白色LED |
白色LED |
照明 透過照明 |
白色LED |
白色LED |
照明 リング照明 |
白色LED |
白色LED |
測定物 最大積載質量(kg) |
10 |
30 |
載物ガラス寸法(mm) |
883 x 958 |
1186 x 1186 |
本体外観寸法(WxDxH)(mm) |
1475 x 1860 x 1578 |
1912 x 2116 x 1603 |
本体質量(kg) |
2050 |
2950 |
その他 |
スケール分解能:0.1μm 繰返し精度:短寸法3σ≦0.2μm / 長寸法3σ≦0.7μm |
スケール分解能:0.1μm 繰返し精度:短寸法3σ≦0.2μm / 長寸法3σ≦0.7μm |
外観寸法図

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