QV ULTRA

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高速化、高精度化により進化を遂げた究極のフラグシップマシンです。

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X・Y・Z各軸に自社開発の高分解能（0.01 μm）、高精度の低膨張ガラススケールを使用しています。

高剛性の固定ブリッジY軸テーブル移動構造を採用、ベースには経年変化の少ないグラナイトを使用しています。

デジタル変倍機能により、さらなる拡大表示が可能となりました。

符号	QV-U404P1L-E	QV-U404T1L-E
コードNo.	363-520-10	363-521-10
測定範囲(XxYxZ)(mm)	400 x 400 x 200	400 x 400 x 200
測定精度(µm)E_UX/E_UY,MPE	(0.35+1.3L/1000)	(0.35+1.3L/1000)
測定精度(µm)E_UXY,MPE	(0.5+2L/1000)	(0.5+2L/1000)
測定精度(µm)E_UZ,MPE	(1.5+2L/1000)	(1.5+2L/1000）
観察装置	プログラム制御パワーターレット 1x, 2x, 6x, (デジタル変倍12x)系	プログラム制御パワーターレット 1x, 2x, 6x, (デジタル変倍12x)系
照明垂直落射照明	白色LED	白色LED
照明透過照明	白色LED	白色LED
照明リング照明	白色LED	白色LED
温度補正機能	自動温度補正	自動温度補正
使用空気圧(MPa)	0.4
測定物最大積載質量(kg)	40	40
本体質量(設置台含む)(kg)	2150	2150
載物ガラス寸法(mm)	493 x 551	493 x 551
本体外観寸法(WxDxH)(mm)	1736 x 1172 x 1910(突起部を除く/専用設置台を含む)	1736 x 1172 x 1910(突起部を除く/専用設置台を含む)
その他	精度保証光学倍率：5倍対物レンズ（QV-HR5xまたはQV-5x）+中倍チューブレンズスケール分解能：0.01μm 撮像素子：B&W CMOSデジタルカメラ必要空気流量：300 L/min (ANR)	精度保証光学倍率：5倍対物レンズ（QV-HR5xまたはQV-5x）+中倍チューブレンズスケール分解能：0.01μm 撮像素子：B&W CMOSデジタルカメラ必要空気流量：300 L/min (ANR) トラッキングオートフォーカス装置有