QV ULTRA

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高速化、高精度化により進化を遂げた究極のフラグシップマシンです。

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X・Y・Z各軸に自社開発の高分解能（0.01 μm）、高精度の低膨張ガラススケールを使用しています。

高剛性の固定ブリッジY軸テーブル移動構造を採用、ベースには経年変化の少ないグラナイトを使用しています。

デジタル変倍機能により、さらなる拡大表示が可能となりました。

符号	QV-U404P1L-E	QV-U404T1L-E
コードNo.	363-520-10	363-521-10
測定範囲(XxYxZ)(mm)	400 x 400 x 200	400 x 400 x 200
測定精度(µm)E_UX/E_UY,MPE	(0.35+1.3L/1000)	(0.35+1.3L/1000)
測定精度(µm)E_UXY,MPE	(0.5+2L/1000)	(0.5+2L/1000)
測定精度(µm)E_UZ,MPE	(1.5+2L/1000)	(1.5+2L/1000）
観察装置	プログラム制御パワーターレット 1x, 2x, 6x, (デジタル変倍12x)系	プログラム制御パワーターレット 1x, 2x, 6x, (デジタル変倍12x)系
照明垂直落射照明	白色LED	白色LED
照明透過照明	白色LED	白色LED
照明リング照明	白色LED	白色LED
温度補正機能	自動温度補正	自動温度補正
使用空気圧(MPa)	0.4
精度保証温度変化(℃/H)	0.5/1,1/24
測定物最大積載質量(kg)	40	40
本体質量(設置台含む)(kg)	2150	2150
載物ガラス寸法(mm)	493 x 551	493 x 551
本体外観寸法(WxDxH)(mm)	1736 x 1172 x 1910(突起部を除く/専用設置台を含む)	1736 x 1172 x 1910(突起部を除く/専用設置台を含む)
その他	精度保証光学倍率：5倍対物レンズ（QV-HR5xまたはQV-5x）+中倍チューブレンズスケール分解能：0.01μm 撮像素子：B&W CMOSデジタルカメラ必要空気流量：300 L/min (ANR)	精度保証光学倍率：5倍対物レンズ（QV-HR5xまたはQV-5x）+中倍チューブレンズスケール分解能：0.01μm 撮像素子：B&W CMOSデジタルカメラ必要空気流量：300 L/min (ANR) トラッキングオートフォーカス装置有