表面性状測定機 FORMTRACER Extreme CS-H5000 CNC
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主な特長
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表面粗さと輪郭形状を一括測定可能な、高精度触針式CNC表面性状測定機です。
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X1軸の最大駆動速度は最大40mm/s、Z2軸の最大駆動速度は最大200mm/sで高速位置決めでき、複数断面測定や複数ワーク測定の高スループット化が可能です。
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X1軸、Z1軸には透過型リニアエンコーダを搭載し、X1軸：5nm、Z1軸：0.8nm/1.6nmの高分解能を実現し、輸郭形状・表面粗さの一括測定に対応しています。
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Z1軸検出器にはアクティブ制御方式を採用し動的測定力の変動を押さえたワイドレンジ測定が可能です。
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X・Y軸方向2軸同時制御による斜め測定が可能です。
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Z1軸検出器には衝突安全装置が内蔵されていますので、万一検出器本体がワークや治具に干渉した場合でも自動停止します。
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X1軸を電動傾斜により水平面、斜面の連続測定が可能です。
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Y軸テーブル付で複数ワークの測定などY方向位置決めにより測定領域が拡大します。
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本機は、高精度が要求される非球面レンズの測定にも実績があります。高精度な本体もさることながら、測定精度に大きな影響を及ぼすワークセッティング（傾き及びピーク点、ボトム点検出）を簡単かつ自動で行えるオプション（Y軸テーブル、3Dオートレベリングテーブル）、及び測定手順作成、解析が簡単に行える専用ソフトウェア（ASLPAK）がご好評いただいています。
仕様
| 符号 | CS-H5000CNC(標準コラム、Y軸テーブル付) |
|---|---|
測定範囲 X軸(mm) |
200 |
駆動速度 J/S mode X軸(mm/s) |
0～40 |
駆動速度 J/S mode Z2軸(mm/s) |
0～50 |
分解能 X軸(µm) |
0.005 |
分解能 Z2軸 (µm) |
0.05 |
測定方向 表面粗さ |
押し引き両方向 |
測定面方向 表面粗さ |
下方向 |
測定速度 X軸 表面粗さ(mm/s) |
0.02～0.2 |
駆動速度 CNC mode X軸(mm/s) |
最大40 |
駆動範囲 Z2軸(mm) |
300 |
測定速度 X軸 輪郭形状(mm/s) |
0.02～2 |
測定範囲 Z1軸 標準(µm) |
12000 |
測定範囲 Z1軸 2倍(µm) |
24000 |
分解能 Z1軸 標準(µm) |
0.0008 |
分解能 Z1軸 2倍(µm) |
0.0016 |
駆動速度 CNC mode Z2軸(mm/s) |
最大200 |
真直精度 X軸 標準スタイラス |
(0.05+0.0003L)μm L：駆動長さ(mm) |
真直精度 X軸 2倍スタイラス |
(0.1+0.0015L)μm H：駆動長さ(mm) |
指示精度 X軸 輪郭形状 |
±(0.16＋0.001L)μm L： 測定長さ(mm) |
指示精度 Z1軸 輪郭形状 |
±(0.07±|0.02H|)μm H： 測定高さ(mm) |
測長ユニット X軸 |
光学式透過形リニアエンコーダ |
測長ユニット Z2軸 |
反射形リニアエンコーダ |
測長ユニット Z1軸 |
光学式透過形リニアエンコーダ |
スタイラス上下動 |
円弧運動 |
追従角度 登り(°) |
60 |
追従角度 下り(°) |
60 |
測定力 2倍(mN) |
0.75 |
測定力 標準(mN) |
4 |
ベース材質 |
はんれい岩 |
ベースサイズ(mm) |
750×600 |
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