CNC表面粗さ・輪郭形状測定機 FORMTRACER Extreme SV-C4500 CNC HYBRID TYPE 1
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主な特長
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接触式の表面粗さと輪郭形状検出器に加え、非接触式検出器を搭載したHYBRIDタイプのCNC表面粗さ・輪郭形状測定機です。
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Y軸が標準搭載されています。そのため、複数ワークの測定などY方向位置決めにより測定領域が拡大できます。
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Z1軸検出器は衝突安全装置が内蔵されていますので、万一検出器本体がワークや治具に干渉した場合でも自動停止します。
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PLC(プログラマブルロジックコントローラ)との双方向通信(RS-232C)による外部制御機能(Ext I /O)をオプションでご用意しております。
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搭載非接触検出器 CPS2525/測定範囲:1.2mm/分解能:25nm
仕様
符号 | SV-C4500CNC HYBRID TYPE1A | SV-C4500CNC HYBRID TYPE1B |
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測定範囲 X軸(mm) |
200 |
200 |
駆動速度 J/S mode X軸(mm/s) |
0~50 |
0~50 |
駆動速度 J/S mode Z2軸(mm/s) |
0~50 |
0~50 |
測定範囲 Z1軸 表面粗さ(µm) |
800,80,8 |
800,80,8 |
分解能 X軸(µm) |
0.05 |
0.05 |
分解能 Z1軸 表面粗さ(µm) |
0.01/0.001/0.0001 |
0.01/0.001/0.0001 |
分解能 Z2軸 (µm) |
0.05 |
0.05 |
測定方向 表面粗さ |
引き方向 |
引き方向 |
測定速度 X軸 表面粗さ(mm/s) |
0.02~2 |
0.02~2 |
駆動速度 CNC mode X軸(mm/s) |
最大200 |
最大200 |
測定範囲 Z1軸 輪郭形状(mm) |
60(水平状態より±30) |
60(水平状態より±30) |
分解能 Z1軸 輪郭形状(µm) |
0.02 |
0.02 |
駆動範囲 Z2軸(mm) |
300 |
300 |
測定方向 輪郭形状 |
押し引き両方向 |
押し引き両方向 |
測定面方向 輪郭形状 |
上下両方向 |
上下両方向 |
駆動速度 CNC mode Z2軸(mm/s) |
最大200 |
最大200 |
真直精度 X軸 表面粗さ |
0.5μm/200mm |
0.5μm/200mm |
真直精度 X軸 輪郭形状 |
2μm/200mm |
2μm/200mm |
指示精度 X軸 輪郭形状 |
±(0.8+4L/200)μm L: 測定長さ(mm) |
±(0.8+4L/200)μm L: 測定長さ(mm) |
指示精度 Z1軸 輪郭形状 |
±(0.8+|2H| /100)μm H: 水平位置からの測定高さ(mm) |
±(0.8+|2H| /100)μm H: 水平位置からの測定高さ(mm) |
指示精度 Z2軸 |
±(3.5+15H/1000)μm H: Z2軸測定高さ(mm) |
±(3.5+15H/1000)μm H: Z2軸測定高さ(mm) |
検出器 検出方式 |
搭載非接触検出器 CPS2525/測定範囲:1.2mm/分解能:25nm |
搭載非接触検出器 CPS0517/測定範囲:0.1mm/分解能:5nm |
測定力 表面粗さ(mN) |
0.75 |
0.75 |
測長ユニット X軸 |
反射形リニアエンコーダ |
反射形リニアエンコーダ |
測長ユニット Z2軸 |
反射形リニアエンコーダ |
反射形リニアエンコーダ |
測長ユニット Z1軸 |
円弧スケール |
円弧スケール |
スタイラス上下動 |
円弧運動 |
円弧運動 |
追従角度 登り(°) |
70 |
70 |
追従角度 下り(°) |
70 |
70 |
測定力 輪郭形状(mN) |
10,20,30,40,50 |
10,20,30,40,50 |
ベース材質 |
はんれい岩 |
はんれい岩 |
スタイラス先端材質 輪郭形状 |
超硬 |
超硬 |
ベースサイズ(mm) |
750×600 |
750×600 |
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