超高精度レーザ変位センサ OPTEX FA CDXシリーズ

分解能(µm) : 0.01
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超高精度測定のため新たに開発された専用設計の光学系と独立ベースユニット構造の高剛性ボディです。

商品バリエーション

主な特長

  • 超高精度測定のため新たに開発された専用設計の光学系と独立ベースユニット構造の高剛性ボディです。
  • 受光素子はCDX専用設計であるイメージセンサ“ATMOS”を新開発、世界最高水準のリニアリティを達成。
  • センサヘッドにEthernet通信機能を内蔵しているので、コントローラなしでネットワークに接続できます。

仕様

符号 CDX-L15 CDX-30 CDX-85 CDX-150 CDX-LW15 CDX-W30 CDX-W85 CDX-W150
コードNo.
19680
19681
19682
19683
19684
19685
19686
19687
測定用レーザ 媒体
赤色半導体レーザ
赤色半導体レーザ
赤色半導体レーザ
赤色半導体レーザ
赤色半導体レーザ
赤色半導体レーザ
赤色半導体レーザ
赤色半導体レーザ
測定用レーザ 波長(nm)
655
655
655
655
655
655
655
655
測定用レーザ 出力(mW)
0.39
0.39
0.39
0.39
0.39
0.39
0.39
0.39
分解能(µm)
0.01
0.05
0.1
0.2
0.01
0.05
0.1
0.2
測定範囲(mm)
15±1
拡散反射設置時:30±5、正反射設置時:25.5±3
拡散反射設置時:85±20、正反射設置時:81.5±10.0
150±40
15±1
拡散反射設置時:30±5、正反射設置時:25.5±3
拡散反射設置時:85±20、正反射設置時:81.5±10.0
150±40
スポットサイズ
φ30μm
φ30μm
φ70μm
φ120μm
30×1000μm
30×1000μm
70×2000μm
120×4000μm
サンプリング周期
12.5 μs / 25 μs / 50 μs / 100 μs / 200 μs / 500 μs / 1000 μs / Auto
12.5 μs / 25 μs / 50 μs / 100 μs / 200 μs / 500 μs / 1000 μs / Auto
12.5 μs / 25 μs / 50 μs / 100 μs / 200 μs / 500 μs / 1000 μs / Auto
12.5 μs / 25 μs / 50 μs / 100 μs / 200 μs / 500 μs / 1000 μs / Auto
12.5 μs / 25 μs / 50 μs / 100 μs / 200 μs / 500 μs / 1000 μs / Auto
12.5 μs / 25 μs / 50 μs / 100 μs / 200 μs / 500 μs / 1000 μs / Auto
12.5 μs / 25 μs / 50 μs / 100 μs / 200 μs / 500 μs / 1000 μs / Auto
12.5 μs / 25 μs / 50 μs / 100 μs / 200 μs / 500 μs / 1000 μs / Auto
温度特性
-10~40℃:±0.02% F.S./℃、40~50℃:±0.03% F.S./℃
-10~40℃:±0.01% F.S./℃、40~50℃:±0.03% F.S./℃
-10~40℃:±0.01% F.S./℃、40~50℃:±0.03% F.S./℃
-10~40℃:±0.01% F.S./℃、40~50℃:±0.03% F.S./℃
-10~40℃:±0.03% F.S./℃、40~50℃:±0.1% F.S./℃
-10~40℃:±0.02% F.S./℃、40~50℃:±0.04% F.S./℃
-10~40℃:±0.01% F.S./℃、40~50℃:±0.03% F.S./℃
-10~40℃:±0.01% F.S./℃、40~50℃:±0.03% F.S./℃
対応規格
EN 60947-5-2:2007 / A1:2012, IEC 60825-1:2007および2014
EN 60947-5-2:2007 / A1:2012, IEC 60825-1:2007および2014
EN 60947-5-2:2007 / A1:2012, IEC 60825-1:2007および2014
EN 60947-5-2:2007 / A1:2012, IEC 60825-1:2007および2014
EN 60947-5-2:2007 / A1:2012, IEC 60825-1:2007および2014
EN 60947-5-2:2007 / A1:2012, IEC 60825-1:2007および2014
EN 60947-5-2:2007 / A1:2012, IEC 60825-1:2007および2014
EN 60947-5-2:2007 / A1:2012, IEC 60825-1:2007および2014
保護等級
IP67
IP67
IP67
IP67
IP67
IP67
IP67
IP67
レーザクラス IEC/JIS
CLASS 1
CLASS 1
CLASS 1
CLASS 1
CLASS 1
CLASS 1
CLASS 1
CLASS 1
レーザクラス FDA
CLASS 1
CLASS 1
CLASS 1
CLASS 1
CLASS 1
CLASS 1
CLASS 1
CLASS 1
リニアリティ
±0.05% of F.S.(±1 μm)
拡散反射設置時:±0.03% of F.S.(±3 μm)、正反射設置時:±0.04% of F.S.(±2.4 μm)
拡散反射設置時:測定範囲65~85 mm:±0.018% of F.S.( ±7.2 μm)、測定範囲85~105 mm:±0.03% of F.S.( ±12.0 μm)、正反射設置時:±0.03% of F.S.(±6.0 μm)
測定範囲110~150 mm:±0.03% of F.S.( ±24 μm)、測定範囲150~190 mm:±0.04% of F.S.( ±32 μm)
±0.05% of F.S.(±1 μm)
拡散反射設置時:±0.015% of F.S.(±1.5 μm)、正反射設置時:±0.04% of F.S.(±2.4 μm)
拡散反射設置時:±0.015% of F.S.(±6.0 μm)、正反射設置時:±0.03% of F.S.(±6.0 μm)
±0.015% of F.S.(±12 μm)
繰返し精度
0.01 μm
0.05 μm
0.1 μm
0.2 μm
0.01 μm
0.05 μm
0.1 μm
0.2 μm
光学方式/モード
正反射式
拡散反射式、正反射式
拡散反射式、正反射式
拡散反射式
正反射式
拡散反射式、正反射式
拡散反射式、正反射式
拡散反射式
表示部
リンク表示灯(緑)/ パワー表示灯(橙/緑/青/赤)
リンク表示灯(緑)/ パワー表示灯(橙/緑/青/赤)
リンク表示灯(緑)/ パワー表示灯(橙/緑/青/赤)
リンク表示灯(緑)/ パワー表示灯(橙/緑/青/赤)
リンク表示灯(緑)/ パワー表示灯(橙/緑/青/赤)
リンク表示灯(緑)/ パワー表示灯(橙/緑/青/赤)
リンク表示灯(緑)/ パワー表示灯(橙/緑/青/赤)
リンク表示灯(緑)/ パワー表示灯(橙/緑/青/赤)
インターフェイス
Ethernet (100BASE-TX)/IEEE1588対応
Ethernet (100BASE-TX)/IEEE1588対応
Ethernet (100BASE-TX)/IEEE1588対応
Ethernet (100BASE-TX)/IEEE1588対応
Ethernet (100BASE-TX)/IEEE1588対応
Ethernet (100BASE-TX)/IEEE1588対応
Ethernet (100BASE-TX)/IEEE1588対応
Ethernet (100BASE-TX)/IEEE1588対応
材質
アルミダイカスト
アルミダイカスト
アルミダイカスト
アルミダイカスト
アルミダイカスト
アルミダイカスト
アルミダイカスト
アルミダイカスト
保存環境温度範囲(℃)
-20~60
-20~60
-20~60
-20~60
-20~60
-20~60
-20~60
-20~60
保存環境湿度範囲(非結露)(%RH)
35~85
35~85
35~85
35~85
35~85
35~85
35~85
35~85
耐環境性 耐振動
10~55 Hz 複振幅1.5 mm X, Y, Z各方向 2時間
10~55 Hz 複振幅1.5 mm X, Y, Z各方向 2時間
10~55 Hz 複振幅1.5 mm X, Y, Z各方向 2時間
10~55 Hz 複振幅1.5 mm X, Y, Z各方向 2時間
10~55 Hz 複振幅1.5 mm X, Y, Z各方向 2時間
10~55 Hz 複振幅1.5 mm X, Y, Z各方向 2時間
10~55 Hz 複振幅1.5 mm X, Y, Z各方向 2時間
10~55 Hz 複振幅1.5 mm X, Y, Z各方向 2時間
耐環境性 耐衝撃
50 G(500 m/s2) X, Y, Z各方向 3回
50 G(500 m/s2) X, Y, Z各方向 3回
50 G(500 m/s2) X, Y, Z各方向 3回
50 G(500 m/s2) X, Y, Z各方向 3回
50 G(500 m/s2) X, Y, Z各方向 3回
50 G(500 m/s2) X, Y, Z各方向 3回
50 G(500 m/s2) X, Y, Z各方向 3回
50 G(500 m/s2) X, Y, Z各方向 3回
使用環境温度範囲(℃)
-10~50
-10~50
-10~50
-10~50
-10~50
-10~50
-10~50
-10~50
使用環境湿度範囲(非結露)(%RH)
35~85
35~85
35~85
35~85
35~85
35~85
35~85
35~85
使用周囲照度
白熱灯:3000 lx 以下、蛍光灯:10000 lx 以下
白熱灯:3000 lx 以下、蛍光灯:10000 lx 以下
白熱灯:3000 lx 以下、蛍光灯:10000 lx 以下
白熱灯:3000 lx 以下、蛍光灯:10000 lx 以下
白熱灯:3000 lx 以下、蛍光灯:10000 lx 以下
白熱灯:3000 lx 以下、蛍光灯:10000 lx 以下
白熱灯:3000 lx 以下、蛍光灯:10000 lx 以下
白熱灯:3000 lx 以下、蛍光灯:10000 lx 以下
質量(g)
300
280
280
280
300
280
280
280
最大消費電力(W)
340 mA(DC12 V時)、180 mA(DC24 V時)
340 mA(DC12 V時)、180 mA(DC24 V時)
340 mA(DC12 V時)、180 mA(DC24 V時)
340 mA(DC12 V時)、180 mA(DC24 V時)
340 mA(DC12 V時)、180 mA(DC24 V時)
340 mA(DC12 V時)、180 mA(DC24 V時)
340 mA(DC12 V時)、180 mA(DC24 V時)
340 mA(DC12 V時)、180 mA(DC24 V時)
供給電源電圧
DC12~24 V(±10%、リップルを含む)
DC12~24 V(±10%、リップルを含む)
DC12~24 V(±10%、リップルを含む)
DC12~24 V(±10%、リップルを含む)
DC12~24 V(±10%、リップルを含む)
DC12~24 V(±10%、リップルを含む)
DC12~24 V(±10%、リップルを含む)
DC12~24 V(±10%、リップルを含む)
その他
外部入力機能:レーザ放射停止、ホールド/リセット、ストレージ開始、オフセット
外部入力機能:レーザ放射停止、ホールド/リセット、ストレージ開始、オフセット
外部入力機能:レーザ放射停止、ホールド/リセット、ストレージ開始、オフセット
外部入力機能:レーザ放射停止、ホールド/リセット、ストレージ開始、オフセット
外部入力機能:レーザ放射停止、ホールド/リセット、ストレージ開始、オフセット
外部入力機能:レーザ放射停止、ホールド/リセット、ストレージ開始、オフセット
外部入力機能:レーザ放射停止、ホールド/リセット、ストレージ開始、オフセット
外部入力機能:レーザ放射停止、ホールド/リセット、ストレージ開始、オフセット