レーザスキャンマイクロメータ センサー部
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主な特長
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ø1 mmで±0.015 μmの繰り返し精度(2σ)、±0.3 μmの直線性を保証。安定した高精度測定を実現。
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極細線測定モード搭載により、測定可能最小径5 µmに対応。
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IP67の耐環境性能で厳しい条件のインラインでも使用可能。
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精密モータを使用し、レーザ走査回数:3,200 回/ 秒の高速スキャンによる高精度測定が可能。
仕様
符号 | LSM-02-A | LSM-30-A |
---|---|---|
コードNo. |
544-123 |
544-124 |
測定範囲(mm) |
0.005~2 |
0.3~30 |
最小表示量(範囲)(µm) |
0.01 |
0.01 |
レーザ走査回数(回/秒) |
3200 |
3200 |
レーザ波長(可視光)(nm) |
650 |
650 |
レーザ走査速度(m/s) |
76 |
226 |
保護等級 |
IP67 |
IP67 |
レーザクラス IEC/JIS |
CLASS 1 |
CLASS 1 |
直線性(20℃)狭範囲(µm) |
- |
±(0.6+0.1⊿D) |
直線性(20℃)全範囲(µm) |
±0.3 |
±1.0 |
繰返し精度(20℃)(µm) |
φ2mm:±0.03 / φ1mm:±0.015 |
φ30mm:±0.09 / φ10mm:±0.06 |
位置誤差(µm) |
±0.4 |
全領域(10x30):±1.8 / 中心領域(5x20):±1.0 |
使用環境温度範囲(℃) |
0~40 |
0~40 |
使用環境湿度範囲(非結露)(%RH) |
35~85 |
35~85 |
その他 |
測定領域:1x2(光軸方向x走査方向) 平均化回数:16~2048回 レーザー最大出力:1.0mW 使用環境高度:2000m以下 保存環境温度:-10℃~50℃ 保存環境湿度:35%RH~85%RH(非結露) EMC指令:EN IEC 61326-1 Immunity test requirements:Clause 6.2 Table2 Emission limit:ClassA RoHs指令:EN IEC 63000 信号ケーブル5m標準付属 |
測定領域:10x30(光軸方向x走査方向) 平均化回数:1~2048回 レーザー最大出力:1.0mW 発行部受光部間距離:標準130mm, 最大350mm 使用環境高度:2000m以下 保存環境温度:-10℃~50℃ 保存環境湿度:35%RH~85%RH(非結露) EMC指令:EN IEC 61326-1 Immunity test requirements:Clause 6.2 Table2 Emission limit:ClassA RoHs指令:EN IEC 63000 信号ケーブル5m標準付属 |
外観寸法図
各種ダウンロード
非接触・高精度・インライン レーザ測長システム レーザスキャンマイクロメータ LSM-02-A/30-A/CU-A
アクセサリ・オプション
標準キャリブレーションセット(LSM-02-A用)
- コードNo
- 02AGD110
標準キャリブレーションセット(LSM-30-A用)
- コードNo
- 02AGD130
プーリ治具 LSM-02-A用
- コードNo
- 02AGD200
ワークステージ LSM-30-A用
- コードNo
- 02AGD270
アジャスタブルワークステージ LSM-30-A用
- コードNo
- 02AGD490
信号延長ケーブル(5m)
- コードNo
- 02AGN780A
信号延長ケーブル(10m)
- コードNo
- 02AGN780B
信号延長ケーブル(15m)
- コードNo
- 02AGN780C
信号延長ケーブル 20m
- コードNo
- 02AGN780D
レーザー光路安定カバー LSM-30-A用
- コードNo
- 02AGQ452
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