QVWLI HYPER 404/606 Pro
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商品バリエーション
主な特長
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QVWLI ProはQVに白色光干渉計を搭載した複合型の高精度3D計測システムです。
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WLI 光学系で取得した3Dデータから三次元表面性状解析/三次元粗さ解析が可能です。
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3Dデータから指定高さでの寸法測定や断面形状の測定が可能です。
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ストロボ照明を搭載しており、ステージ静定時間を短縮した高スループット測定が可能です。
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デジタル変倍機能により、さらなる拡大表示が可能となりました。
仕様
| 符号 | QVW-H404P1L-E | QVW-H606P1L-E |
|---|---|---|
コードNo. |
363-716-10 |
363-717-10 |
測定範囲(XxYxZ)(mm) |
400 x 400 x 240 |
600 x 650 x 220 |
WLI画像 共通測定範囲(XxYxZ)(mm) |
315 x 400 x 240 |
515 x 650 x 220 |
測定精度(µm)EUX/EUY,MPE |
(0.8+2L/1000) |
(0.8+2L/1000) |
測定精度(µm)EUXY,MPE |
(1.4+3L/1000) |
(1.4+3L/1000) |
測定精度(µm)EUZ,MPE |
(1.5+2L/1000) |
(1.5+2L/1000) |
観察装置 |
プログラム制御パワーターレット 1x, 2x, 6x, (デジタル変倍12x)系 |
プログラム制御パワーターレット 1x, 2x, 6x, (デジタル変倍12x)系 |
照明 垂直落射照明 |
白色LED |
白色LED |
照明 透過照明 |
白色LED |
白色LED |
照明 リング照明 |
白色LED |
白色LED |
照明 WLIヘッド_垂直落射照明 |
ハロゲン |
ハロゲン |
温度補正機能 |
自動温度補正 |
自動温度補正 |
使用空気圧(MPa) |
0.4 |
0.4 |
精度保証 温度(℃) |
20±1 |
20±1 |
精度保証 温度変化(℃/H) |
0.5/1,1/24 |
0.5/1,1/24 |
測定物 最大積載質量(kg) |
25 |
35 |
本体質量(設置台含む)(kg) |
1205 |
2275 |
載物ガラス寸法(mm) |
493 x 551 |
697 x 758 |
本体外観寸法(WxDxH)(mm) |
1426 x 1118 x 1381 (突起部を除く/専用設置台を含まず) |
1994 x 1400 x 1572 (突起部を除く/専用設置台を含まず) |
本体質量(kg) |
540 |
1330 |
その他 |
スケール分解能：0.1 μm 測定精度 ストリーム(オプション)(E1X,E1Y)：(1.5+3L/1000) μm 測定精度(ストリーム(オプション)(E2XY)：(2.0+4L/1000) μｍ 精度保証光学倍率：2.5倍対物レンズ（QV-HR2.5xまたはQV-SL2.5x）+中倍チューブレンズ WLI繰り返し精度：2σ≦0.08 ㎛ 精度保証環境音圧レベル：70 ㏈以下 撮像素子：B&W CMOSデジタルカメラ |
スケール分解能：0.1 μm 測定精度 ストリーム(オプション)(E1X,E1Y)：(1.5+3L/1000) μm 測定精度(ストリーム(オプション)(E2XY)：(2.0+4L/1000) μｍ 精度保証光学倍率：2.5倍対物レンズ（QV-HR2.5xまたはQV-SL2.5x）+中倍チューブレンズ WLI繰り返し精度：2σ≦0.08 ㎛ 精度保証環境音圧レベル：70 ㏈以下 撮像素子：B&W CMOSデジタルカメラ |
外観寸法図
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