白色光干渉光学ユニット WLI-Unit

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白色光干渉による非接触高精度微細表面性状計測が可能。

商品バリエーション

主な特長

  • 白色光干渉による非接触高精度微細表面性状計測が可能→3D形状測定、3D粗さ測定
  • 光学倍率に依存しない高さ測定精度
    低倍率レンズでも高いZ分解能で測定可能
  • 高アスペクト比測定
    光学系のNAに依存しない検出による高アスペクト比形状測定に対応
  • 外乱振動に対する高ロバスト性
  • 小型軽量

仕様

符号 WLI-Unit-003 WLI-Unit-005 WLI-Unit-010
コードNo.
554-001
554-002
554-003
WLI-Unit センサヘッド ケーブル長(m)
3
5
10
WLI-Unit センサヘッド 対応対物レンズ
WLI Plan Apoシリーズ
WLI Plan Apoシリーズ
WLI Plan Apoシリーズ
WLI-Unit センサヘッド 結像倍率
WLI-Unit センサヘッド 焦点距離f(mm)
100
100
100
WLI-Unit センサヘッド スキャン機構
自社製対物レンズスキャナー
自社製対物レンズスキャナー
自社製対物レンズスキャナー
WLI-Unit センサヘッド サイズ(mm)
108×68×191
108×68×191
108×68×191
WLI-Unit センサヘッド 重量(kg)
1.7
1.7
1.7

ご注意事項

対物レンズはオプションです。

推奨PC仕様
OS:Windows 10Pro 64bit / Windows 11Pro 64bit
CPU:Xeon Processor 8 Core(2.0GHz以上)
メモリ:8GB以上
ストレージ:25GB以上
光学ドライブ:DVD-ROMドライブ(ソフトウェアインストール用)
通信ポート:RJ-45×1ポート(EtherNET)
拡張スロット:PCI Express 3.0×8 以上

外観寸法図

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各種ダウンロード

顕微鏡ユニット 対物レンズ

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商品全般に関するご案内

当社商品は製造現場での使用を前提とした、工業用商品として設計、製造、販売されています。