白色光干渉光学ユニット 白色光干渉光学ユニット WLI-Unit

白色光干渉方式（WLI）により、ナノメートルオーダの非接触高精度3D表面性状及び粗さ測定が可能。

商品ラインナップ

本体

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白色光干渉光学ユニット WLI-Unit

白色光干渉による非接触高精度微細表面性状計測が可能。

アクセサリ

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