超硬球面測定子でセパレータフィルムの厚さ測定も安定かつ高精度に!

アプリケーション 高精度デジタル測長機 ライトマチック
リチウムイオン二次電池用セパレータフィルムの厚さ測定において、製品要求精度が3〜5µm程度から1µm以下に上がり、要求精度を満たすレベルまでフラット測定子とベース面との平行度を調整することが困難に。超硬球面測定子の導入で、低測定力の安定した高精度測定を実現しました。
  • 従来の課題

    • 製品要求精度が1µm以下に上がり、フラット測定子とベース面との平行度の調整が困難になっていた
  • ミツトヨの解決提案

    • 超硬球面測定子を用いた低測定力の測定で、フィルムのような柔らかいワークの厚さも、変形を気にせず高精度に測定
  • 期待される効果

    • 平行度の誤差による測定値の揺らぎがなくなり、測定繰り返し精度が向上

超硬球面測定子による低測定力のフィルムの厚さ測定で、安定した高精度測定を実現

フラット測定子の場合、僅かな傾きでエッジ部がフィルムを変形させてしまい、安定した測定ができない

R面が緩やかな球面測定子の場合、僅かに沈み込みはあるが、常に同じ状態で接触するため安定した測定が可能

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