微細形状スキャニングプローブ搭載画像測定機 MiSCAN Vision System
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商品バリエーション
商品紹介動画
最小径Φ0.125mmの極小スタイラスによるスキャニング測定が可能。微細形状の高効率、高精度測定を実現します。
主な特長
-
画像測定ヘッドとスキャニングプローブ（MPP-NANO、SP25M）を搭載した理想的なハイブリッド機です。目視による測定が難しい狭小部位でも画像ヘッドで正確な位置決めを行い、狙い込み測定が可能です。
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MPP-NANOスタイラス用観察ユニットをオプションに設定しました。ø0.125ｍｍの極小スタイラスでもモニターで確認しながら測定位置にアプローチ可能なため安心して操作ができます。
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マグネット方式によるキネマティックジョイントの採用により、異なるスタイラスへの交換が容易に行えます。 スタイラス交換工具（MPP-NANOスタイラスツールセット）を標準装備。
仕様
| 符号 | MVS-H302P1L-D | MVS-X404P1L-D | MVS-H404P1L-D |
|---|---|---|---|
測定範囲(XxYxZ)(mm) |
300x200x200 |
400x400x250 |
400x400x250 |
最小表示量(µm) |
0.02 |
0.1 |
0.02 |
WLI画像 共通測定範囲(XxYxZ)(mm) |
175×200×200 |
275×400×250 |
275×400×250 |
測定精度(E1XY軸)(um) |
0.8+2L/1000 |
1.5+3L/1000 |
0.8+2L/1000 |
測定精度(E1Z軸)(um) |
1.5+2L/1000 |
1.5+4L/1000 |
1.5+2L/1000 |
測定精度(E2XY平面)(um) |
1.4+3L/1000 |
2.0+4L/1000 |
1.4+3L/1000 |
測長ユニット |
リニアエンコーダ |
リニアエンコーダ |
リニアエンコーダ |
カメラ |
CCD白黒カメラ |
CCD白黒カメラ |
CCD白黒カメラ |
観察装置 |
パワータレット（1x-2x-6x) |
パワータレット（1x-2x-6x) |
パワータレット（1x-2x-6x) |
照明 垂直落射照明 |
白色LED |
白色LED |
白色LED |
照明 透過照明 |
白色LED |
白色LED |
白色LED |
照明 リング照明 |
白色LED |
白色LED |
白色LED |
精度保証 温度(℃) |
18～23 |
18～23 |
18～23 |
精度保証 温度勾配(℃/m)(高さ・水平方向) |
1 |
1 |
1 |
精度保証 温度変化(℃/H) |
0.5/1,1/24 |
0.5/1,1/24 |
0.5/1,1/24 |
精度保証 振動条件 振動数10Hz以下 |
最大振幅≦2 μm |
最大振幅≦2 μm |
最大振幅≦2 μm |
精度保証 振動条件 振動数10Hz超 |
最大加速度≦0.004 m/s² |
最大加速度≦0.004 m/s² |
最大加速度≦0.004 m/s² |
測定物 最大積載質量(kg) |
15 |
40 |
30 |
本体質量(設置台含む)(kg) |
360 |
579 |
579 |
載物ガラス寸法(mm) |
399×271 |
493×551 |
493×551 |
本体外観寸法(WxDxH)(mm) |
859×951×1609 |
1407×1027×1778 |
1407×1027×1778 |
本体質量(kg) |
260 |
||
電源 |
AC100-240V±10％ 50/60Hz |
AC100-240V±10％ 50/60Hz |
AC100-240V±10％ 50/60Hz |
その他 |
専用設置台質量(kg): 100 ガイド方式: 直動式ハードベアリング 駆動方式: DCサーボモータとボールネジによる駆動 (速度・位置フィードパック方式) 基本構造: 固定ブリッジYテーブル移動構造 スケール膨張係数 (×10^-6/K): 0±0.02 動作保証温度(℃): 10~35(ただし、結露なきこと) 温度補正機能: 自動温度補正 A特性音圧レベル: 70 dB(A)以下 PH6Mプローブヘッド部: 昇降装置付き(退避量: 35 mm) 使用空気圧力 (プローブ上下駆動用): 0.4 MPa (空気源元圧は0.5~0.9 MPaが必要) 推奨湿度条件: 55~65% 空気使用条件 (使用空気圧): 0.4 MPa (空気源元圧は0.5~0.9 MPaが必要) |
ガイド方式: 直動式ハードベアリング 駆動方式: DCサーボモータとボールネジによる駆動 (速度・位置フィードパック方式) 基本構造: 固定ブリッジYテーブル移動構造 スケール膨張係数 (×10^-6/K): 8±1 動作保証温度(℃): 10~35(ただし、結露なきこと) A特性音圧レベル: 79.5 dB(A) 温度補正機能: 自動温度補正 PH6Mプローブヘッド部: 昇降装置付き(退避量: 35 mm) 推奨湿度条件: 55~65% 空気使用条件 (使用空気圧): 0.4 MPa (空気源元圧は0.5~0.9 MPaが必要) |
ガイド方式: 直動式ハードベアリング 駆動方式: DCサーボモータとボールネジによる駆動 (速度・位置フィードパック方式) 基本構造: 固定ブリッジYテーブル移動構造 スケール膨張係数 (×10^-6/K): 0±0.02 動作保証温度(℃): 10~35(ただし、結露なきこと) A特性音圧レベル: 79.5 dB(A) 温度補正機能: 自動温度補正 PH6Mプローブヘッド部: 昇降装置付き(退避量: 35 mm) 使用空気圧力 (プローブ上下駆動用): 0.4 MPa (空気源元圧は0.5~0.9 MPaが必要) 推奨湿度条件: 55~65% 空気使用条件 (使用空気圧): 0.4 MPa (空気源元圧は0.5~0.9 MPaが必要) |
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