微細形状スキャニングプローブ搭載画像測定機 MiSCAN Vision System

最小表示量(µm) : 0.02
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画像測定ヘッドとスキャニングプローブを搭載した理想的なハイブリッド機です。

商品バリエーション

商品紹介動画

最小径Φ0.125mmの極小スタイラスによるスキャニング測定が可能。微細形状の高効率、高精度測定を実現します。

主な特長

  • 画像測定ヘッドとスキャニングプローブ(MPP-NANO、SP25M)を搭載した理想的なハイブリッド機です。目視による測定が難しい狭小部位でも画像ヘッドで正確な位置決めを行い、狙い込み測定が可能です。
  • MPP-NANOスタイラス用観察ユニットをオプションに設定しました。ø0.125mmの極小スタイラスでもモニターで確認しながら測定位置にアプローチ可能なため安心して操作ができます。
  • マグネット方式によるキネマティックジョイントの採用により、異なるスタイラスへの交換が容易に行えます。 スタイラス交換工具(MPP-NANOスタイラスツールセット)を標準装備。

仕様

符号 MVS-H302P1L-D MVS-X404P1L-D MVS-H404P1L-D
測定範囲(XxYxZ)(mm)
300x200x200
400x400x250
400x400x250
最小表示量(µm)
0.02
0.1
0.02
WLI画像 共通測定範囲(XxYxZ)(mm)
175×200×200
275×400×250
275×400×250
測定精度(E1XY軸)(um)
0.8+2L/1000
1.5+3L/1000
0.8+2L/1000
測定精度(E1Z軸)(um)
1.5+2L/1000
1.5+4L/1000
1.5+2L/1000
測定精度(E2XY平面)(um)
1.4+3L/1000
2.0+4L/1000
1.4+3L/1000
測長ユニット
リニアエンコーダ
リニアエンコーダ
リニアエンコーダ
カメラ
CCD白黒カメラ
CCD白黒カメラ
CCD白黒カメラ
観察装置
パワータレット(1x-2x-6x)
パワータレット(1x-2x-6x)
パワータレット(1x-2x-6x)
照明 垂直落射照明
白色LED
白色LED
白色LED
照明 透過照明
白色LED
白色LED
白色LED
照明 リング照明
白色LED
白色LED
白色LED
精度保証 温度(℃)
18~23
18~23
18~23
精度保証 温度変化(℃/H)
0.5/1,1/24
0.5/1,1/24
0.5/1,1/24
測定物 最大積載質量(kg)
15
40
30
本体質量(設置台含む)(kg)
360
579
579
載物ガラス寸法(mm)
399×271
493×551
493×551
本体外観寸法(WxDxH)(mm)
859×951×1609
1407×1027×1778
1407×1027×1778

必須オプション

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