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プレスリリース

2014.10.15

超高精度CNC三次元測定機 マイクロコードLEGEXシリーズ
― 世界トップの測定精度0.28µmを実現 ―

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株式会社ミツトヨ(本社:川崎市高津区、代表取締役社長:中川 徹)は、1998年より次世代三次元測定機の一環として開発した超高精度CNC三次元測定機マイクロコードLEGEXの製造・販売を行っています。現行機種は2004年に製造・販売を開始、世界から高い評価をいただいております。
しかし、近年の科学・産業技術の高度化、高機能化は留まることがなく、特に自動車、航空、医療機器業界の超精密金型や部品、非球面レンズ等の測定要求、研究機関のマスタゲージの値付け等、高精度なものづくりの場では高いレベルでの品質向上が求められ続けています。これらのニーズにお応えするため、要素技術レベルから新たに開発・設計を行い、測定誤差を引き起こすあらゆる要因を排除して、従来機を凌駕する世界トップの高精度、長さ測定誤差E0,MPE(0.28+L/1000)µmを達成したLEGEX4機種を開発いたしました。
日々進化するものづくりの未来へ、ミツトヨは精密測定で社会に貢献しています。

[特長] 

(1)

門固定・テーブル移動構造
・長年にわたって熟成してきた門固定・テーブル移動構造を引続き採用しました。

(2)

静的・動的誤差要因を極小化し、世界最高の測定精度0.28µmを実現
・駆動部から発生する駆動時の振動や変形を最小にする機構を開発しました。
・自社開発の制御装置を一新した、新アルゴリズムの適用による高度な制御技術の適用により、静的・動的誤差要因を極小化し、高精度化を達成しました。
・狭範囲真直性の向上により、倣い測定精度が向上しました。
・熱的安定性を考慮した構造設計と、低膨張結晶化ガラススケールや温度補正機能の採用により実現した精度保証温度範囲18~22℃が、測定環境の維持コスト削減に貢献します。

(3)

本体ベースの設計
・本体ベースに球状黒鉛鋳鉄(ダクタイル鋳鉄)による密封化構造を採用し、高剛性、高減衰性を実現しました。
・FEM構造解析シミュレーションを駆使した徹底的な応力分析により、荷重変動などによる変形を最小限にし、極めて良好な幾何学運動精度を保証します。

(4)

構造体及び各軸送り機構の高剛性化により誤差を抑え、サイクルタイムを向上
・各軸送り機構を高剛性化しました。
・高剛性エアベアリングを採用しました。
・ハンドラップによる最終仕上げによって狭範囲真直性を追い込みました。

(5)

使用環境への配慮
・熱的対称構造と主要本体部のフルカバー構造採用により、環境温度変化からの影響を受けづらくしているため、測定空間のひずみを抑えます。この環境温度に対するロバスト性の向上により、温度変動を精密にコントロールする超精密恒温設備が不要になり、導入時及び維持コストの低減に貢献します。
・外部振動対策のために除振台を標準装備しました。

(6)

シリーズとして統一感のあるデザイン
・商品としての堅固さを全シリーズ統一イメージで設計しました。
・測定者に「信頼」「高精度」「安心」を感じてもらえるデザインを実現しました。

[主な仕様]

符 号  LEGEX574 LEGEX774 LEGEX776 LEGEX9106
測定範囲 X軸 500mm 700mm 900mm
Y軸 700mm 1000mm
Z軸 450mm 600mm
最小表示量  0.00001 mm  
長さ測定誤差
E0,MPE 
(0.28 + L/1000)µm  
測定物  最大高さ  695 mm  860mm
最大積載質量 250 kg 500kg  800kg
機械の質量 3500kg 5000kg 5100kg 6500kg

 

 

 

 

  

 

 


[
価格と販売
見込]
発売時期 : 2014年11月より受注開始
標準価格*1 : ¥40,000,000~¥47,000,000
*1標準価格には消費税は含まれておりません。
初年度販売台数見込 : 20台 (国内販売のみの場合)

 

[お客様からの問合せ先] 
株式会社ミツトヨ 国内営業推進部 電話(044)813-5410 ファクス(044)813-5433