MITUTOYO Japan
プレスリリース
2008.10.21

高精度二次元エンコーダ “MICSYS-SA1”を発売
MICSYS-SA1
 株式会社ミツトヨ(本社:川崎市高津区  代表取締役社長:坂本 仁)は、全く新しい原理に基づいた高精度二次元エンコーダを開発、商品化、本年12月1日から国内販売を開始します。
 近年、高精度テーブルの戻り精度測定、平面のひずみ測定、熱ドリフトの測定など、二次元の変位を同時にしかも高精度、簡単に測定したいというご要望を受け、本商品を開発しました。従来のスケールと検出部の組合せではなく、ランダムな粗さを持った基準片をターゲット(標準ターゲット)とし、検出器とターゲットの水平方向の変位を非接触で測定します。

[測定原理]

 レーザ光を標準ターゲット測定面(粗面)に照射すると散乱した反射光どうしが干渉し「スペックル・パターン」が形成されます。このスペックル・パターンは測定面の移動に伴って移動しますので、移動前後のパターンを比較すれば、測定面の移動量を算出することができます。MICSYS-SA1はこの原理を採用しています。


[主な特長]

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標準ターゲットの面内二次元変位を非接触で同時に測定できます。
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始めの画像と移動後の画像の比較による測定であるため、前後の移動経路、移動スピードに制約がありません。
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可視光半導体レーザ(波長 650 nm)使用により、測定箇所を目視確認できます。測定したい箇所に検出器のセットアップが簡単にできます。
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新開発の内挿アルゴリズム*1により1 nmの高分解能で測定ができます。  *1 特許出願中

[標準価格]

 標準価格: 800,000円
 *2 標準価格には消費税は含まれておりません。

[主な仕様]

コードNo.
549-701
符号
MICSYS-SA1
測定範囲
±100 μm (X軸方向、Y軸方向とも)
表示分解能
1 nm
作動距離
10 mm ± 0.2 mm (標準ターゲットの厚み 6.1 mmを含む)
指示精度(20℃の場合)
±100 nm/100 μm (原点から各軸方向100 μmの移動に対して)
レーザ光源
半導体レーザダイオード、波長650 nm
レーザクラス
クラス2
変位算出方式
スペックル画像相関法
データ更新周波数
20 Hz以上
インターフェイス
RS-232C
 MICSYS-SA1は「検出器(ケーブル付)」、「I/Fユニット」、「標準ターゲット」の3点から構成されています。標準ターゲットのデータを検出器で読取りI/Fユニット経由(RS-232C出力)で顧客側選定機器(PCなど)にて取込みます。

[お客様からの問合せ先]

株式会社ミツトヨ 営業本部 特機営業部 スケール担当  電話(044)813-8236  ファクス(044)813-5433
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