2002.10.22
独自の測定原理により極めて微小なスタイラスによるタッチ測定を実現した微細部品形状測定システム"UMAP Vision System"を発売



微細プローブ”UMAP130”を搭載した微細部品形状測定システム”UMAP Vision System”

 

 株式会社ミツトヨは、超精密・微細加工への対応を可能とする微細プローブ"UMAP130"と微細部品形状測定システム"UMAP Vision System"を新たに開発し、2002年12月21日より販売を開始します。また、10月28日より東京ビッグサイトにて開催される「第21回日本国際工作機械見本市JIMTOF2002」(ミツトヨ・ブース 西1ホール1階 小間No.W1042)に出品します。

 ナノテクノロジー技術が発展する中で、MEMS(マイクロマシン)による超精密・微細加工技術に注目が集まっています。一方、部品の形状や寸法の測定に用いられる三次元測定機のプローブ径は、これまで最も小さいものでφ0.4mmであったため、これらの技術によって加工された微細な深穴などの測定には限界がありました。今回新たに開発した微細プローブ"UMAP130"は、先端球径φ30μm(=0.03mm)、軸長2mm、アスペクト比66.7のスタイラス形状を持ち、独自の原理によって微小な形状の接触測定を実現しました。このUMAP130では、スタイラスを微小振動させ、その振幅変動をセンシングすることで極めて微細なスタイラス形状によるタッチ測定を可能としています。ますます普及が進む光ファイバー用コネクタ(フェルール)の内径や低燃費・高性能を追求し微細化・超精密化が進む自動車エンジン用燃料噴射ノズル、さらには時計地板の軸受部や超精密金型の微細形状測定など、その用途は多岐にわたります。
 微細部品形状測定システム"UMAP Vision System"は、微細プローブ"UMAP130"を搭載するとともに画像プローブを標準装備し、目視困難な微細部分(微小な深穴など)を画像で位置決めした上でUMAP130によるタッチ測定を行なうことが可能です。また、画像プローブによって通常の画像測定機としても利用できるほか、専用アタッチメントを使用することで一般的な三次元測定機に用いられるタッチ信号プローブTP200の搭載も可能となっています。"UMAP Vision System" 1台で、微細な形状測定から一般的な三次元測定、さらには非接触による画像測定まで幅広い用途に対応が可能です。

[価格と販売見込]

標準価格(標準構成の場合): 2,500万円〜
初年度販売台数見込: 50台

[主な特長]

(1) 先端球径φ30μm、軸長2mmの極小スタイラスで微細な形状のタッチ測定を実現
◇新開発の微細プローブ"UMAP130"は先端球径φ30μm、軸長2mm、アスペクト比66.7の極小スタイラスで微小な深穴などのタッチ測定が可能。
※UMAP - Ultrasonic Micro and Accurate Probe

(2) 画像プローブの搭載で微細部分の狙い込みと通常の画像測定の兼用が可能
◇画像プローブで目視困難な微細部分も正確に位置決めでき、さらに通常の画像測定機としても兼用可能。

(3) 三次元測定機用タッチ信号プローブTP200の搭載も可能
◇専用のアタッチメントを使用することで高精度タッチ信号プローブTP200への交換もでき、一般的な三次元測定も可能。

(4) 極小スタイラス部分はユーザサイドでの着脱、交換が可能
◇UMAP130の極小スタイラス部分にはユーザサイドでの着脱、交換が可能な機構を採用し、メンテナンス性も考慮。

[主な仕様]

測定範囲(画像):300×200×200mm
・測定範囲(画像+UMAP):245×200×200mm
・UMAP130の先端形状:先端球径/最小φ30μm、軸長2mm、アスペクト比66.7 
・精度(画像)X,Y軸の測定精度:0.8+2L/1000μm(Lは測定長さmm、以下同じ)
・精度(画像)Z軸の測定精度:3+2L/1000μm
・精度(TP200)空間の指示誤差:2.0+3L/1000μm
・精度(UMAP130)繰返し精度:σ=0.1μm
・測定速度(TP200):3mm/sec
・測定速度(UMAP130):100μm/sec以下
・最小表示量:0.01μm
・画像ユニット照明装置 :垂直落射照明/リング照明
・画像ユニット観察装置 :固定倍率光学系+CCDカメラ

[UMAP130の測定原理]

UMAP130はスタイラスを微小振動させ、その振幅変動をセンシングすることで非常に微細なスタイラス形状によるタッチ測定を実現しました。測定原理の概要は次のとおりです。
 (1)下図のようにスタイラスがワークに接触していない状態では、スタイラスは微小振幅で振動し、この振動状態を維持しています。
 (2) スタイラスがワークに接触すると、スタイラスの振動はワークにより拘束され、振動の振幅が減少します。この減少がある一定レベルを下回ったときにタッチトリガを検出します。
 (3) スタイラスがワークから離れると、スタイラスの振動振幅は非接触時の状態まで復帰し、次の測定を行うことができます。
このような測定原理を採用することで、極めて微細なスタイラスによるタッチ測定を可能としています。

[お客様からの問合せ先]

株式会社ミツトヨ 機器営業グループ 画像担当 電話(044)822-1429 ファクス(044)822-4136



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