2001.11.8
ミツトヨ独自技術によるオリジナルプローブシステム・ラインアップ化の第1弾を商品化

株式会社ミツトヨは、三次元測定機用プローブシステムの充実により、三次元測定機システムとしてのパフォーマンス向上を図りトータルソリューションを提供することを目的に、オリジナリティに富んだ特徴ある三次元測定機用プローブシステムの開発を積極的に展開して参りましたが、この度開発・商品化に成功し、本年11月中旬より全世界同時に出荷を開始します。

『三次元測定機用プローブ・システム』の開発
従来ミツトヨは三次元測定機に使用するプローブシステムに関し、倣いプローブと画像測定プローブは自社製を使用し、それ以外は英国のレニショー社製等のプローブシステムを使用していました。しかし、三次元測定機システムとしてのパフォーマンス向上を図る目的で、下記のプローブシステムに関し自社開発を行うという方針で、各種要素技術開発や商品開発を進めて来ました。

<三次元測定機用プローブシステムの自前化方針>
(1) "より高精度化"に特化したプローブシステムの開発
(2) "他社に無い"プローブシステムの開発
(3) "非接触計測"が実現できるプローブシステムの開発
この度、ラインアップ化の第1弾として、次の5種類のプローブシステムを商品化し出荷を開始致します。
1)高精度測定分野への展開 ->超高精度タッチトリガプローブシステム:MTP2000
2)高速倣い測定分野への展開 ->高速倣いプローブシステム:MPP-100
3)高精度倣い測定分野への展開 ->高精度倣いプローブシステム:MPP-300
4)他社に無いアプリケーションプローブの提供 ->ねじ有効深さ測定プローブシステム:MPP-10
5)画像技術の応用展開 ->三次元測定機用画像測定プローブシステム:QUICK VISION PROBE(QVP)
6)各種プローブ性能を最大限に発揮するためのソフトウェア開発 ->プローブシステムや計測ソフトウェアに組み込み
今後は三次元測定機に搭載するプローブシステムとして、レニショー社製等のプローブシステムとの共存と棲み別けを図りながら商品展開を図る方針です。

[販売価格および販売見込台数]
・ プローブ単体の標準価格
1)MTP2000…70万円 2)MPP-100…330万円 3)MPP-300…400万円 4)MPP-10…70万円 5)QVP…250万円

・ 国内、海外を合わせ5機種合計で年間700セットの販売を見込む。

[主な特長および仕様]

<MTP2000>
1. 超高精度測定を実現したタッチトリガープローブ。金型等をはじめとした精密部品の 測定に最適です。
1) 当社独自の高精度着座復帰機構(特許出願中)及びセンシングアルゴリズム(特許出願 中)の採用により、高い繰返し精度と方向性が無い高い真球度を実現しました。
2) 当社の超高精度CNC三次元測定機『LEGEXシリーズ』『RV-IIシリーズ』に搭載 することにより、さらなる高精度を実現します。
2. オートプローブチェンジ機構付き
・ オートジョイント機構を搭載しているため、他のプローブとの自動交換も可能です。 交換可能プローブは接触式のみならず、非接触式プローブとの組み合わせも可能であり、測定のバリエーションが大きく広がります。

繰返し精度σ
0.075μm
真円度
0.4μm
真球度
0.5μm
測定方向
±X、±Y、+Z
オーバートラベル
水平
±5°
垂直
2mm
測定力
水平
0.96N
垂直
2.94N
プローブ外径
35mm
プローブマウント
オートジョイント

<MPP-100>
1. 高速測定を実現した倣いプローブ。複雑な自由曲面等の形状誤差を高速に評価することが可能です。
1) 当社独自の高精度案内機構及び高速倣い制御技術の採用により、高速倣い測定を実 現しながら合わせて高い倣い精度も実現しました。
2) 最大倣い速度は120mm/sと高速化され、測定の効率化が飛躍的に向上いたしまし た。
2. ロングスタイラス対応
・ 最大200mmのロングスタイラスが装着出来るため、長物ワークをはじめ本プロー ブ1本で色々な測定ワークに対応可能です。
3. スタイラスチェンジ機構付き ・ スタイラスチェンジ機構を搭載しているため、測定ワークの形状に応じた種々の スタイラスの自動交換が行え、測定のバリエーションが大きく広がります。

最小表示量 0.1μm
繰り返し精度σ 0.3μm
倣い精度(V2)
(FAL-A搭載時)
1.5μm(20mm/sec時)
最大倣い速度 120mm/sec(設計値倣い時)
測定ストローク ±1mm
測定力 0.7N/mm
最大スタイラス長さ 200mm
最大スタイラス質量 75g

<MPP-300>
1. 超高精度測定を実現した倣いプローブ。複雑な自由曲面等の形状誤差を高精度で評価することが可能です。
1) 当社独自の高精度案内機構及び線膨張係数≒0という超高精度ガラススケールを使用した高精度測長ユニットの採用、さらには高精度倣い制御技術の採用により極 めて高い倣い精度を実現しました。
2) 当社の超高精度CNC三次元測定機『LEGEXシリーズ』『RV-U』に搭載することにより、世界トップクラスの倣い精度を実現しました。
2. ロングスタイラス対応
・ 最大200mmのロングスタイラスが装着出来るため、長物ワークをはじめ本プローブ1本で色々な測定ワークに対応可能です。
3. スタイラスチェンジ機構付き
・ スタイラスチェンジ機構を搭載しているため、測定ワークの形状に応じた種々のスタイラスの自動交換が行え、測定のバリエーションが大きく広がります。

最小表示量 0.01μm
繰り返し精度σ 0.1μm
倣い精度(V2)
(LEGEX搭載時)
0.3μm(3mm/sec時)
最大倣い速度 10mm/sec
測定ストローク ±1mm
測定力 0.2N/mm
最大スタイラス長さ 200mm
最大スタイラス質量 75g

<MPP-10>
1) 三次元測定機に装着して、ねじの有効深さ測定を行うプローブ。
2) 現状のネジゲージを使用した専用測定機から三次元測定機内で測定が可能。
3) 汎用の三次元測定とネジ有効深さの測定が1システムで可能。
4) 弾性ヒンジとストレインゲージを利用したセンシング(特許出願中)により、
ねじ有効深さを高速かつ定量的に求めることが可能。
5) オートプローブチェンジ機構搭載により、他のタッチ信号プローブ等との共存が可能。

※共同研究先:広島大学大学院工学研究科 複雑システム工学専攻 金子 真教授

測定ねじサイズ
M4〜M20
最大測定速度
M4〜M10ねじ
10mm/sec
M12〜M20ねじ
30mm/sec
最大測定深さ
M4〜M6ねじ
30mm
M8〜M20ねじ
60mm
プローブ外径
Φ25mm
プローブマウント
オートジョイント

<QVP>
1. 三次元測定機に画像測定機能を搭載することで、三次元測定機で測定できなかった微小寸法測定等を実現します。
<画像プローブ搭載により可能となる測定ワーク例>
1) 小さくて接触式プローブが入り込めないワーク Φ1以下の小穴やΦ1以下の線幅
2) 接触すると変形等を起こし測定できないワーク 軟らかい部分をもつワーク測定
3) 段差がなく触れても測定できないワーク
4) 通常の画像測定機では載せられないが画像測定したい高重量・広範囲ワーク
5) 三次元測定機+顕微鏡使用ユーザ
2. 三次元測定機による高速・高精度な非接触画像測定を可能にするシステムです。

QVP本体 CCDサイズ 1/2インチ(B/W)
鏡筒倍率 0.5x
照明 落射・リング 白色LED光源
質量(g) オートジョイントタイプ:310 シャンクタイプ:385
光学倍率 0.5x 1.5x 2.5x 5x
対物レンズ 倍率 1x 3x 5x 10x
オプション 標準 オプション オプション
観察範囲(mm) 9.6x12.8 3.2x4.3 1.9x2.6 1x1.3
作動距離(mm) 59 72.5 59.5 44
開口数 N.A. 0.03 0.07 0.11 0.18
焦点深度(μm) 306 56 23 8
質量(g) 70 47 59 75

 



[お客様からの問合せ先]

株式会社ミツトヨ  機器営業グループ 座標計測機担当 電話(044)822-1429 ファクス(044)822-4136


上左:高精度倣いプローブMPP-300
上右:高速倣いプローブMPP-100
中左:ねじ有効深さ測定プローブMPP-10
中右:超高精度タッチトリガープローブMTP2000
下:三次元測定機用画像測定プローブQVP

MPP-10によるねじ有効深さの測定



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