MITUTOYO Japan
プレスリリース
2010.10.21

白色光干渉計を搭載したCNC画像測定機の新シリーズ
“非接触3D計測システム クイックビジョンWLI” をJIMTOF2010へ参考出品


 株式会社ミツトヨ(本社:川崎市高津区 代表取締役社長:中川 徹)は、1993年に非接触CNC画像測定機“クイックビジョンシリーズ”で画像測定機市場に本格的に参入して以来、常に業界をリードし、様々なユーザニーズに応える形で改良を加えてきました。昨今のユーザニーズは、更なる生産性向上や高機能化、高精度化から、従来の座標寸法などの2D測定からICパッケージや太陽電池セル、MEMSなどにみられる微細3D形状測定を1台で行いたいという要求に高まってきています。

 このような市場を背景として、これまで培ってきた画像測定技術と、自社開発の白色光干渉計WLI(White Light Interferometer)を搭載したデュアルヘッドシステム、 "非接触3D計測システム クイックビジョンWLIシリーズ"を新たに開発し、2011年2月からの販売を予定します。また、本年10月28日より東京ビッグサイトにて開催される「第25回日本国際工作機械見本市JIMTOF2010」(ミツトヨ・ブース 西3ホール4階 小間o.W3041)に参考出品します。

 “クイックビジョンWLIシリーズ”は、従来のCNC画像測定機能と微細かつ高アスペクト比な3D形状測定を1台で行なえるハイブリッド測定システムです。例えば、ICパッケージなどの個片化前の大判工程において、座標寸法と3D形状を1台で測定することにより、ワークの段取り替えロスを減らすことができます。3D形状測定用のWLIヘッドは視野内を一括測定することで、3D形状評価解析から断面形状の寸法測定や輪郭照合が可能です。また、大形ステージで、且つ高精度の本体は、XYZ軸がお互いの運動精度に影響されにくい固定ブリッジ・ステージ移動構造を採用しています。
[主な仕様]
機種 Hyper QVWLI 404 Hyper QVWLI 606
測定範囲
(X×Y×Z)
画像測定 400×400×240mm 600×650×240mm
WLI 測定 315×400×240mm 515×650×240mm
最小表示量(X, Y, Z) 0.01 μm
WLIヘッド
測定視野 10×レンズ 約0.32×0.24mm/25×レンズ 約0.128×0.096mm
Z軸サーチ範囲 200μm
Z軸繰返し精度 2σ≦0.2μm
画像ヘッド
測定精度 E1XY軸 (0.8+2L/1000)μm
E1Z軸 (1.5+2L/1000)μm
E2XY平面 (1.4+3L/1000)μm
[お客様からの問合せ先]
株式会社ミツトヨ 営業本部 営業技術部 電話(044)813-1623 ファクス(044)813-5433
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