レーザースキャンマイクロメータの基礎知識

互換性について

本装置はヘッドに付属となっているIDユニットとセットで調 整されていますので、必ずシリアル番号の同じIDユニットを 表示部に付けてご使用ください。なお、IDユニットとヘッドと の調整となっているため、表示部とヘッドとは互換性があり ます。また、500Sシリーズと旧機種(LSM-3000、3100、4000、 4100、400、500、500Hシリーズ)との互換性はありません。

測定物と測定条件について

可視光レーザと不可視光レーザの違い、および測定物の形 状や表面の粗さによって測定誤差を生じることがあります。
この場合、できるだけ既知の形状や表面粗さが同じ値のマスターをご使用いただき、キャリブレーションを必ず行ってください。測定条件によって測定値が大きくばらつく場合は、測定回数をできるだけ多くすることで精度の高い測定が可能です。

ノイズ対策について

誤動作の防止のため、本装置の信号ケーブルと中継ケーブルを高圧線やサージノイズの発生するケーブルと同一配線をしないようにお願いします。また、必ずアース(接地)をしてください。

コンピュータとの接続について

RS-232Cで本装置とコンピュータを接続する場合は、コネクタの信号名およびピン番号を確認ください。

安全上の注意点

本装置は測定用に低出力の可視レーザ光を使用しており、 JIS C 6802「レーザ製品の放射安全基準」のクラス2に相当します。測定部には下の図に示すようなクラス2の警告、説明ラベルが貼られています。

ベースを取り外しての再取付けについて

発光部・受光部間のレーザ光軸のずれによる測定誤差をで きるだけ少なくするために、発光部と受光部の取付けは以 下のようにしてください。

水平面内の光軸合わせ
a. 基準線CとDの平行ずれ

b. 基準線CとDの角度ずれ

水平面内の光軸合わせ
c. 基準面AとBの平行ずれ

d. 基準面AとBの角度ずれ

各光軸合わせの許容範囲

適用機種 発光部~受光部間距離 XおよびY θxおよびθy
LSM-501S 68 mm以下 0.5 mm以内 0.4 °(7 mrad)以内
100 mm以下 0.5 mm以内 0.3 °(5.2 mrad)以内
LSM-503S 130 mm以下 1 mm以内 0.4 °(7 mrad)以内
350 mm以下 1 mm以内 0.16 °(2.8 mrad)以内
LSM-506S 273 mm以下 1 mm以内 0.2 °(3.5 mrad)以内
700 mm以下 1 mm以内 0.08 °(1.4 mrad)以内
LSM-512S 321 mm以下 1 mm以内 0.18 °(3.6 mrad)以内
700 mm以下 1 mm以内 0.08 °(1.4 mrad)以内
LSM-516S 800 mm以下 1 mm以内 0.09 °(1.6 mrad)以内

測定例