白色光干渉光学ユニット WLI-Unit
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商品バリエーション
主な特長
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白色光干渉による非接触高精度微細表面性状計測が可能→3D形状測定、3D粗さ測定
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光学倍率に依存しない高さ測定精度 低倍率レンズでも高いZ分解能で測定可能
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高アスペクト比測定 光学系のNAに依存しない検出による高アスペクト比形状測定に対応
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外乱振動に対する高ロバスト性
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小型軽量
仕様
| 符号 | WLI-Unit-003 | WLI-Unit-005 | WLI-Unit-010 |
|---|---|---|---|
コードNo. |
554-001 |
554-002 |
554-003 |
WLI-Unit センサヘッド ケーブル長(m) |
3 |
5 |
10 |
WLI-Unit センサヘッド 対応対物レンズ |
WLI Plan Apoシリーズ |
WLI Plan Apoシリーズ |
WLI Plan Apoシリーズ |
WLI-Unit センサヘッド 結像倍率 |
1× |
1× |
1× |
WLI-Unit センサヘッド 焦点距離f(mm) |
100 |
100 |
100 |
WLI-Unit センサヘッド スキャン機構 |
自社製対物レンズスキャナー |
自社製対物レンズスキャナー |
自社製対物レンズスキャナー |
WLI-Unit センサヘッド サイズ(mm) |
108×68×191 |
108×68×191 |
108×68×191 |
WLI-Unit センサヘッド 重量(kg) |
1.7 |
1.7 |
1.7 |
ご注意事項
対物レンズはオプションです。
推奨PC仕様
OS：Windows 10Pro 64bit / Windows 11Pro 64bit
CPU：Xeon Processor 8 Core（2.0GHz以上）
メモリ：8GB以上
ストレージ：25GB以上
光学ドライブ：DVD-ROMドライブ（ソフトウェアインストール用）
通信ポート：RJ-45×1ポート（EtherNET）
拡張スロット：PCI Express 3.0×8 以上
外観寸法図
各種ダウンロード
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アクセサリ・オプション
商品全般に関するご案内
当社商品は製造現場での使用を前提とした、工業用商品として設計、製造、販売されています。
