PPZXXY2 2 2 I2 2 2 2 L2 電磁誘導とは、［図1］のように2つのコイルが対向し配置されている場合、コイルAに時間的に変化する電流I1を流すと、コイルAの周囲に磁束が発生し、コイルBには磁束を打ち消す方向に誘導起電流I2が生する現象です。 電磁誘導式スケールは電磁誘導を利用して変位量を電気信号に変換しています。［図2］に検出部の概念図を示します。メインスケールには、正確なピッチでスケールコイルが配置してあります。それに対向して変位するセンサ部には励磁コイルと検出コイルが配置されています。 励磁コイルに電流を流すと磁束が発生し、対向するスケールコイルに起電流が発生します。その電流によって生じた磁束は対向する検出コイルに起電流を発生させます。センサ部の変位量に応じて各コイル間の電磁結合が変化し、スケールコイルのピッチと同じ周期の正弦波信号が得られます。 この正弦波信号を電気的に内挿（分割）することにより、最小分解能のデジタル量として変位測定が可能となります。焦点深度が深い コイルA2 2 2 V2 コイルAに時間的に変化する電流Ι1を流すと、コイルAの周囲に磁束が発生する。コイルBには磁界を打ち消す方向に誘導起電流Ι2が発生する。8-63 電磁誘導式の基本原理図1 1 1 I1 [図1] 電磁誘導式エンコーダの原理[図2]電磁誘導式スケールの検出原理～ ～ ～ ～ V V V V 1 1 1 L1 ルBコイコイル間の透磁率は空気、水、油でほとんど差がない。電磁誘導式センサは耐水性、耐油性に優れている。電電電電圧圧圧圧ＶＶＶＶ検出コイル励磁コイル変位センサ部変位量変位量スケールコイルスケールにコイルを定ピッチで配置マルチトラック化によりアブソリュートエンコーダを構成。電磁誘導式スケールの検出原理（ABS ST700, ABS AT1100）両側テレセントリック光学系の原理（ABS ST1300、ABS AT1300）両側テレセントリックの撮像光学系を搭載した、光電式リニアエンコーダ 受光素子 受光素子 光源 + 両側テレセントリック光学系スケール 両側テレセントリック光学系Zスケール 撮像範囲が広い検出原理・両側テレセントリックの撮像光学系によりスケールの目盛を像としてとらえ、その移動量を受光素子で検出する。 特長・両側テレセントリックの撮像光学系の採用 ⇒エンコーダのロバスト性向上 ●深い焦点深度の確保 ⇒ GAP変動許容（スケールのうねりやステージの姿勢変動、検出器の取付許容など）の拡大 ●広い撮像範囲を確保 ⇒ スケールの汚れや微小なキズなどに対する許容の拡大
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