アッセンブリ形リニヤスケールは、ガラススケールを長さの基準として、その格子目盛から発光素子、受光デバイスを用いて光量変化を検出し変位量を出力しています。ガラススケールの透過光量変化を電気信号に変換する方式を透過形光電式と呼びます。 発光素子(LED)とコリメータレンズにより生成された平行光は、格子目盛を照射します。格子を透過した平行光は、受光デバイスのフォトダイオードアレイ上に格子目盛と同じ周期の干渉縞を生成します。ガラススケールが測長方向に変位するとその干渉縞が移動し、受光デバイスから格子目盛の周期である20 µmピッチの正弦波信号が出力されます。 出力される正弦波は内挿回路で電気分割することで最小分解能を持った方形波(パルス)になります。 光電式のセパレート形リニヤスケールは、ガラススケールの格子目盛から発光素子、受光デバイスを用いて、光量変化を検出し変位量を出力しています。ガラススケールの反射光量変化を電気信号に変換する方式を反射形光電式と呼びます。 発光素子(LED)とコリメータレンズにより生成された平行光は、インデックススケールの格子およびガラススケールの格子目盛を照射します。格子目盛を反射した光は、受光デバイスのフォトダイオードアレイ上に干渉縞を生成します。ガラススケールが測長方向に変位するとその干渉縞が移動し、受光デバイスから目盛周期または1/2周期の正弦波信号が出力されます。8-6220 µm二相正弦波二相方形波 格子目盛(目盛ピッチ20 µm) 発光素子(LED) 受光デバイス(フォトダイオード・アレイ)コリメータレンズコリメータレンズ 発光素子(LED)ガラススケールコリメータレンズガラススケール 受光デバイス(フォトダイオード・アレイ)内挿回路分解能検出原理透過形光電式スケールの検出原理(アッセンブリ形リニヤスケール)反射形光電式スケールの検出原理(ST36等)
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