FPD検査装置欠陥検査・リペアの位置決めに8-61ATシリーズ 参照STシリーズ 参照STシリーズ 参照ATシリーズ 参照切削刃リニヤスケールベットSTシリーズ 参照リニヤスケールSTシリーズ 参照リニヤスケールXYテーブル駆動方式リニヤスケールリニヤスケールシリコンウェハXYテーブル（リニヤスケールはXYテーブルに内蔵）電子ビームCCDカメラワークチャンパモニタ真空ポンプ移動テーブルワーク半導体製造装置ダイシングソーの位置決めに露光装置スキャニングステージの位置決めに電子顕微鏡マスクの観察、パターン回路の測長、欠陥検査等に各種NC工作機械高精度フルクローズドループ制御用に電子部品実装機電子部品の高速、高精度実装にリニヤスケールアプリケーション
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