光源／受光素子作動距離測定レンジ分解能サンプリングレート調光機能スポット径測定可能最大傾斜角鏡面拡散面透明体測定可能最小厚さ測定精度繰返し測定精度 σ光学ヘッドの最大外形寸法光学ヘッドの重量※ CPSの外観イメージや仕様等の詳細は、用途に応じて変更になる場合があります。7-2CPS0517CPS2525CPS051717 mm0.1 mm(±0.05 mm)0.005 μmΦ 1.7~2.0 μm±30°±45°20 μm±0.1 μm0.04 μm上面厚さ下面長作動型CPSCPS252526 mm1.2 mm(±0.6 mm)0.025 μm300~2000 HzΦ 3.5~4.0 μmΦ49mm （フランジ部 ： Φ56mm）非接触変位センサCPS外部出力： High Speed USB長作動型CPS作動距離測定レンジ厚さ測定モード選択白色LED／ラインCCD自動調光（デフォルト設定）／手動調光も選択可能±25°±80°25 μm±0.4 μm0.1 μm約1kg51 mm11 mm(±5.5 mm)0.26 μmΦ 14.5~15.0 μm±14°±70°410 μm±6.0 μm1.0 μm仕様幅広い表面性状、形状のサンプルを評価光学ヘッドコントローラ非接触光学センサ Chromatic Point Sensor（特注対応品） CPSシリーズ● 非接触表面粗さ評価に適したスポット径約2μm（分解能5nm）4μm（分解能25nm）15μm（分解能260nm） の3種類を ラインアップ。●幅広い表面性状、形状のサンプルをこれ一本で評価可能。●鏡面、拡散面の何れにおいても高い傾斜追従性を実現。（最大±80°）●透明サンプルの表面性状や厚さ測定※が可能となる光学式高精度センサです。 ※最小測定厚さ：20um（屈折率1.5のとき） 項目
元のページ ../index.html#332