BLSM-501S＝＝AAABABBビーム径Aビーム幅B測定領域の中心において、各々の寸法に応じて固有に生じる最大誤差量（各寸法のワークを測定した場合に測定値が真値から外れた片寄り量）を表した数値です。本装置では、機種別にキャリブレーションゲージ（オプション）が用意してあり、このキャリブレーションゲージにて校正を行い、測定領域中心でワークを測定した際の理想値からのずれ値です。※ キャリブレーションの寸法値検定の際に発生する誤差は含まれておりません。別途、加測定領域の中心において、各々の測定機の最大測定径の被測定物を動かすことなく、平均化回数512回（LSM-6902Hは2048回）に設定し、2分間連続測定を行った場合における測定値のバラツキ（±2σ）の値です。被測定物が測定領域内で位置ずれを生じた際に、測定領域の中心における測定値を基準とした誤差量です。位置誤差には、下図のようにアップダウン精度とパラレル精度があり、位置誤差は個別にかかります。被測定物があらかじめ定まった空間領域に入っている場合にのみ精度保証（直線性＋位置誤差）している数値を得る事ができます。この領域の事を測定領域と呼びます。測定領域は、レーザビームの走査方向×光軸方向によって決まります。一番誤差を少なく測定するには、この測定領域の中心で測定することが必要です。因みに下図の①と②と⑤と⑥は、測定領域の外にあるため、測定不能となり、③と④では位置誤差が直線性精度にプラスされます。算されます。5-48LSM-6902H200µm300µmパラレル精度レーザ走査方向パラレル精度レーザ走査方向※参考値真値LoCALアップダウン精度測定領域光軸方向LSM-500S80µm120µm120µm170µmLSM-503S240µm340µmパラレル精度アップダウン精度レーザ走査方向光軸方向真値アップダウン精度パラレル精度測定領域レーザ走査方向光軸方向最大誤差量HiCALLoCALLSM-506SLSM-9506600µm800µm600µm800µm理想値直線性測定値LSM-512S1200µm1600µmLSM-516S1200µm1600µm真値理想値真値最大誤差量直線性測定値LoCALHiCALLoCALアップダウン精度測定領域測定領域光軸方向HiCAL用語説明、注意事項 用語説明1. 直線性2. 繰返し精度3. 位置誤差4. 測定領域5. ビーム径と幅
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