センサ・装置組込ユニット総合カタログ
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[一部の機種を除く]16面ポリゴンミラーと高精度モータを使用しているため、高速測定が可能です。高速ラインや振動のある場所等で最大限威力を発揮します。5-2測定は被測定物を測定台や治具に置くだけなので、測定力の影響が無く、個人誤差を軽減します。光学系の最適化やクロックパルスの高速化により繰返し精度、位置誤差、直線性精度が飛躍的に向上しました。さらに、高精度のご要求にお応えします。検査機器の向上により、今までできなかった狭範囲精度の提示が行える様になり、マスタワークとの比較測定の際の精度保証が可能となりました。(LSM-500S、LSM-9506を除く)独創のレーザ技術特長毎秒3200スキャンの超高速測定測定の個人誤差を軽減繰返し精度、位置誤差、直線性精度の向上業界初、狭範囲精度の提示高精度フルラインナップレーザスキャンマイクロメータLSM

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