5章■特長・測定原理………………………………… 5-2■機種一覧………………………………………… 5-4■測定部 高精度測定部・表示部セット品 ……………… 5-6 極細線用測定部………………………………… 5-8 精密細物用測定部………………………………5-10 汎用測定部（30mm タイプ） …………………5-12 汎用測定部（60mm タイプ） …………………5-14 汎用測定部（120mm タイプ） …………………5-16 汎用測定部（160mm タイプ） …………………5-18 測定部・表示部一体形 ………………………5-20■オプション（測定部用） 標準キャリブレーションゲージセット …………5-22 ガイドプーリ ……………………………………5-22 ワークステージ …………………………………5-22 信号延長ケーブル ………………………………5-23 中継延長ケーブル ………………………………5-23 エアブローカバー ………………………………5-23 アジャスタブルワークステージ …………………5-24■表示部 多機能操作表示部LSM-6200 …………………5-28 組み込み型操作表示部LSM-5200 ……………5-29 各部の名称と働き ………………………………5-30 表示部機能説明…………………………………5-40 表示部入出力仕様………………………………5-42■オプション（表示部用） LSM-6200/6902H 用インタフェース …………5-44 システム拡張用機器 ……………………………5-47■用語説明…………………………………………5-48■使用上の注意 正しくお使いください… …………………………5-49 ベースを取り外しての再取付けについて ………5-50 LSM-512S、LSM- 516Sの 本体取付姿勢に関する注意点 ………………5-51 海外移転に関するご注意（輸出に関して） ……5-53■簡易操作ソフトご案内 …………………………5-54■価格表……………………………………………5-55■アプリケーション …………………………………5-56Laser Scan Micrometer非接触・高精度レーザ測長システムマイクロメータLSMレーザスキャン
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