ミツトヨ精密測定機器・総合カタログNo.13-51版
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L-17Lサーフテスト(表面粗さ測定機)編■JIS B 0601:2013 製品の幾何特性仕様(GPS)-表面性状:輪郭曲線方式-用語、定義および表面性状パラメータ■JIS B 0632:2001 製品の幾何特性仕様(GPS)-表面性状:輪郭曲線方式-位相補償フィルタの特性■JIS B 0633:2001 製品の幾何特性仕様(GPS)-表面性状:輪郭曲線方式-表面性状評価の方式および手順■JIS B 0651:2001 製品の幾何特性仕様(GPS)-表面性状:輪郭曲線方式-触針式表面粗さ測定機の特性トランスデューサ測定曲線触針先端rtip基準線基準案内(スキッド)呼び形状の除去断面曲線AD変換器輪郭曲線フィルタλsJIS B 0601によるパラメータの評価測定断面曲線増幅器送り装置対象面測定ループ外乱プローブ駆動部縦方向信号伝達部入力/出力入力/出力送り装置コラムプローブ(ピックアップ)触針対象物固定具測定台測定ループ触針の形状理想的な触針の形状は球状先端をもつ円すいである。先端半径 : rtip=2 µm、5 µm、10 µm円すいのテーパ角度 : 60°、90°理想的な測定機では、特別な指示がない限り、円すいのテーパ角度は60°60°60°60°90°90°90°R 2 µmR 5 µmR 10 µmR 2 µmR 5 µmR 10 µmカットオフ値と触針先端半径の関係粗さ曲線用カットオフ値λc、触針先端半径rtip、およびカットオフ比λc/λsの関係注1 Ra>0.5 µmまたはRz>3 µmの表面に対しては、通常、rtip=5 µmを用いても測定結果に大きな差を生じさせない。注2 カットオフ値λsが2.5 µmおよび8 µmの場合、推奨先端半径を持つ触針の機械的フィルタ効果による減衰特性は、定義された通過帯域の外側にある。したがって触針の先端半径または形状の多少の誤差は測定値から計算されるパラメータの値にはほとんど影響しない。 特別なカットオフ比が必要な場合には、その比を明示しなければならない。静的測定力触針の平均位置における測定力: 0.75 mN測定力変化の割合:0 N/m標準特性値:触針の平均値における静的測定力注1  触針の平均位置における静的測定力の最大値は、付け替え方式の触針など、特殊な構造のプローブでは、4.0 mNとする。輪郭曲線のためのフィルタは、位相遅れ(輪郭曲線が波長に依存してひずむ原因)のない位相補償フィルタ。位相補償フィルタの重み関数は、カットオフ値で50%の振幅伝達率となる正規(ガウス)分布である。断面曲線測定断面曲線にカットオフ値λsの低域フィルタを適用して得られる曲線粗さ曲線カットオフ値λcの高域フィルタ粗さ曲線パラメータ断面曲線パラメータ定義 :実表面とそれに直角な平面との交線←測定定義 :対象面上を移動する触針先端部の中心の軌跡定義 :測定曲線を量子化したデータ←AD変換実表面の断面曲線測定曲線測定断面曲線カットオフ値λsの低域フィルタ断面曲線←平面の傾斜、円筒部品の円弧などの呼び形状を最小二乗法によって除去うねり曲線カットオフ値λc~λfを通過域とする帯域通過フィルタうねり曲線パラメータ50100λsλcλf振幅伝達率 %波長粗さ曲線うねり曲線粗さ曲線カットオフ値λcの高域フィルタによって、断面曲線から長波長成分を遮断して得た輪郭曲線うねり曲線断面曲線にカットオフ値λfおよびλcの輪郭曲線フィルタを順次かけることによって得られる輪郭曲線。λf輪郭曲線フィルタによって長波長成分を遮断し、λc輪郭曲線フィルタによって短波長成分を遮断する。表1-非周期的な輪郭曲線の粗さパラメータRa, Rq, Rsk, Rku, R⊿q並びに負荷曲線および確率密度関数とそれらに関連するパラメータの基準長さ表2-非周期的な輪郭曲線の粗さパラメータRz, Rv, Rp, Rc, Rtの基準長さ表3-周期的な粗さ曲線の粗さパラメータの測定および周期的、非周期的な輪郭曲線のRsm測定のための基準長さ基準長さの指定がない場合の基準長さ決定手順図:基準長さの指定がない場合の非周期的な面における基準長さ決定手順図:基準長さの指定がない場合の周期的な面における基準長さ決定手順記録波形、視覚検査などによるRa, Rz, Rz1max, RSmの推定推定値と表1~3から基準長さを推定基準長さの推定値によって測定したRa, Rz, Rz1max, RSm最終基準長さによるパラメータを測定長い方または短い方の基準長さに変更短い方の基準長さに変更測定値と表1、表2、表3のパラメータの範囲が満足されているか?はいはいいいえいいえ短い方の基準長さが試されているか?測定断面曲線からRSmを推定推定値と表3から基準長さを推定基準長さの推定値によってRSmを測定最終基準長さによるパラメータを測定表3の条件を満たすように基準長さを変更測定値は表3の条件を満足しているか?はいいいえJIS B 0633 : 2001 (ISO 4288 : 1996)JIS B 0651 : 2001 (ISO 3274 : 1996)JIS B 0632 : 2001 (ISO 11562 : 1996)JIS B 0601 : 2013 (ISO 4287 : 1997, Amd.1 : 2009) 触針式表面粗さ測定機の特性位相補償フィルタの特性データ処理の流れ輪郭曲線の種類粗さパラメータの基準長さRa µm 基準長さlrmm 評価長さln mm (0.006)

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