微細形状測定システム UMAP Vision System
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商品バリエーション
主な特長
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最小径15µmのスタイラスにより、微細領域の接触測定が可能です。
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最小1µN（UMAP103）の超低測定力により、変形しやすいワークでも測定が可能です。
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スタイラス径の異なるUMAPを最大3種類まで組み合わせ可能。脱着交換はお客様自身で行えます。
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UMAPでの接触測定と画像方式による非接触測定を1台で実現。目視困難な部分でも、画像モードで位置決めを行い、その後UMAPによる狙いこみ測定が可能です。
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超高精度画像測定機 ULTRA QV404 PROをベースとしたハイエンド微細形状計測システムです。
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Y軸への自己吸引型エアベアリングや、各軸ボールねじ部分のフローティング機構の採用により、更に高精度で安定した測定を可能にしました。
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基準となる測長系には、線膨張係数（0±0.02）×10⁻⁶Kの低膨張ガラススケールを採用し、温度変化によるスケールの伸縮を最小限に抑えています。
仕様
| 符号 | UVS2-H302P1L-D | UVS2-U404P1N-D |
|---|---|---|
測定範囲(XxYxZ)(mm) |
300×200×200 |
400×400×200 |
最小表示量(µm) |
0.02 |
0.01 |
測定精度(E1XY軸)(um) |
（0.8+2L/1000） |
（0.25＋L/1000） |
測定精度(E1Z軸)(um) |
（1.5+2L/1000） |
（1.5+2L/1000） |
測定精度(E2XY平面)(um) |
（1.4+3L/1000） |
（0.5＋2L/1000） |
カメラ |
CCD白黒カメラ |
CCD白黒カメラ |
観察装置 |
プログラム制御パワーターレット 1x,2x,6x |
プログラム制御パワータレット 1X,2X,6X系 |
照明 垂直落射照明 |
白色LED |
ハロゲン |
照明 透過照明 |
白色LED |
ハロゲン |
照明 リング照明 |
白色LED |
ハロゲン |
使用空気圧(MPa) |
0.4 |
0.4 |
精度保証 温度(℃) |
18～23 |
19〜23 |
精度保証 温度変化(℃/H) |
0.5/1,1/24 |
|
測定物 最大積載質量(kg) |
15 |
|
本体質量(設置台含む)(kg) |
370 |
2035 |
載物ガラス寸法(mm) |
399×271 |
493×551 |
本体外観寸法(WxDxH)(mm) |
859×951×1609 |
1735×1200×1910(設置台含む) |
UMAP画像 共通測定範囲(XxYxZ)(mm) |
285×400×175 |
|
ULTRA 測定精度(E1Z軸)(um)(50mmストローク時) |
（1.0＋2L/1000） |
|
温度補正機能 |
自動温度補正 |
|
供給空気流量(L/min)(ANR) |
300 |
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