白色光干渉計搭載画像測定機 HYPER QUICK VISION WLI

最小表示量(µm) : 0.01
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拡大撮像により、測定物の微細形状を測定します

商品バリエーション

主な特長

  • Hyper QVWLIはQVに白色光干渉計を搭載した複合型の高
    精度3D計測システムです。
  • WLI 光学系で取得した3Dデータから三次元表面性状解析/
    三次元粗さ解析が可能です。
  • 3Dデータから指定高さでの寸法測定や断面形状の測定が可能です。

仕様

符号 QVW-H302P1L-D QVW-H404P1L-D QVW-H606P1L-D
測定範囲(XxYxZ)(mm)
300×200×190
400×400×240
600×650×220
最小表示量(µm)
0.01
0.01
0.01
WLI画像 共通測定範囲(XxYxZ)(mm)
215×200×190
315×400×240
515×650×220
測定精度(E1XY軸)(um)
(0.8+2L/1000)
(0.8+2L/1000)
(0.8+2L/1000)
測定精度(E1Z軸)(um)
(1.5+2L/1000)
(1.5+2L/1000)
(1.5+2L/1000)
測定精度(E2XY平面)(um)
(1.4+3L/1000)
(1.4+3L/1000)
(1.4+3L/1000)
カメラ
CCD白黒カメラ
CCD白黒カメラ
CCD白黒カメラ
観察装置
プログラム制御パワータレット 1X,2X,6X系
プログラム制御パワータレット 1X,2X,6X系
プログラム制御パワータレット 1X,2X,6X系
照明 垂直落射照明
白色LED
白色LED
白色LED
照明 透過照明
白色LED
白色LED
白色LED
照明 リング照明
白色LED
白色LED
白色LED
照明 WLIヘッド_垂直落射照明
ハロゲン
ハロゲン
ハロゲン
温度補正機能
自動温度補正
自動温度補正
自動温度補正
使用空気圧(MPa)
0.4
0.4
0.4
精度保証 光学条件
対物レンズ2.5x(パワータレット2x)
対物レンズ2.5x(パワータレット2x)
対物レンズ2.5x(パワータレット2x)
精度保証 温度(℃)
20±1
20±1
20±1
精度保証 温度変化(℃/H)
0.5/1
0.5/1
0.5/1
測定物 最大積載質量(kg)
15
25
35
本体質量(設置台含む)(kg)
490
1160
2275
載物ガラス寸法(mm)
399×271
493×551
697×785
本体外観寸法(WxDxH)(mm)
859×951×1609
1027×1407×1780.5
1309×1985×1792

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