白色光干渉計搭載画像測定機 HYPER QUICK VISION WLI
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商品バリエーション
主な特長
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Hyper QVWLIはQVに白色光干渉計を搭載した複合型の高 精度3D計測システムです。
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WLI 光学系で取得した3Dデータから三次元表面性状解析/ 三次元粗さ解析が可能です。
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3Dデータから指定高さでの寸法測定や断面形状の測定が可能です。
仕様
| 符号 | QVW-H302P1L-D | QVW-H404P1L-D | QVW-H606P1L-D |
|---|---|---|---|
測定範囲(XxYxZ)(mm) |
300×200×190 |
400×400×240 |
600×650×220 |
最小表示量(µm) |
0.01 |
0.01 |
0.01 |
WLI画像 共通測定範囲(XxYxZ)(mm) |
215×200×190 |
315×400×240 |
515×650×220 |
測定精度(E1XY軸)(um) |
（0.8＋2L/1000） |
（0.8＋2L/1000） |
（0.8＋2L/1000） |
測定精度(E1Z軸)(um) |
（1.5＋2L/1000） |
（1.5＋2L/1000） |
（1.5＋2L/1000） |
測定精度(E2XY平面)(um) |
（1.4＋3L/1000） |
（1.4＋3L/1000） |
（1.4＋3L/1000） |
カメラ |
CCD白黒カメラ |
CCD白黒カメラ |
CCD白黒カメラ |
観察装置 |
プログラム制御パワータレット 1X,2X,6X系 |
プログラム制御パワータレット 1X,2X,6X系 |
プログラム制御パワータレット 1X,2X,6X系 |
照明 垂直落射照明 |
白色LED |
白色LED |
白色LED |
照明 透過照明 |
白色LED |
白色LED |
白色LED |
照明 リング照明 |
白色LED |
白色LED |
白色LED |
照明 WLIヘッド_垂直落射照明 |
ハロゲン |
ハロゲン |
ハロゲン |
温度補正機能 |
自動温度補正 |
自動温度補正 |
自動温度補正 |
使用空気圧(MPa) |
0.4 |
0.4 |
0.4 |
精度保証 光学条件 |
対物レンズ2.5x(パワータレット2x) |
対物レンズ2.5x(パワータレット2x) |
対物レンズ2.5x(パワータレット2x) |
精度保証 温度(℃) |
20±1 |
20±1 |
20±1 |
精度保証 温度変化(℃/H) |
0.5/1 |
0.5/1 |
0.5/1 |
測定物 最大積載質量(kg) |
15 |
25 |
35 |
本体質量(設置台含む)(kg) |
490 |
1160 |
2275 |
載物ガラス寸法(mm) |
399×271 |
493×551 |
697×785 |
本体外観寸法(WxDxH)(mm) |
859×951×1609 |
1027×1407×1780.5 |
1309×1985×1792 |
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