測定顕微鏡 MFシリーズ 2軸(X・Y)
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主な特長
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使いやすいスタンダードモデル
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直感的な位置合わせを実現するマニュアルステージを搭載し、手元を確認せずに粗動操作・微動操作を切り換え可能なクイックリリース機能を搭載しています。測定準備に時間がかかりません。
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ピント範囲が幅広いために高さ位置が再現しにくい低倍率（10×以下）でも観察倍率が変わらないよう、高さ位置による倍率誤差を低減したテレセントリック光学系を採用しています。 また、MFシリーズ用対物レンズは、JIS規格を超える自社独自規格に基づき、より正確な倍率となるように作り込まれているため、レチクルによる比較測定にも最適です。
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1-100×までの幅広い対物レンズラインアップすべてで長作動距離を確保しています。これにより、凹凸のあるワーク測定時でもワークへの衝突を気にせず測定ができます。
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通常、変倍時にその都度対物レンズを交換しますが、スライド式ノーズピースにより2本まで対物レンズを搭載することができます。 変倍を頻繁に行う測定では、作業効率が大幅に向上します。
仕様
| 符号 | MF-A1010D | MF-A2010D | MF-A2017D | MF-A3017D | MF-A4020D |
|---|---|---|---|---|---|
最小表示量(µm) |
0.1,0.5,1 |
0.1,0.5,1 |
0.1,0.5,1 |
0.1,0.5,1 |
0.1,0.5,1 |
観察部 鏡筒 |
単眼装置、双眼装置,標準付属：カメラポート（観察：カメラ=50:50固定）標準付属：レチクル（鎖線十字線線幅5µm）,オプション：各種レチクル |
単眼装置、双眼装置,標準付属：カメラポート（観察：カメラ=50:50固定）標準付属：レチクル（鎖線十字線線幅5µm）,オプション：各種レチクル |
単眼装置、双眼装置,標準付属：カメラポート（観察：カメラ=50:50固定）標準付属：レチクル（鎖線十字線線幅5µm）,オプション：各種レチクル |
単眼装置、双眼装置,標準付属：カメラポート（観察：カメラ=50:50固定）標準付属：レチクル（鎖線十字線線幅5µm）,オプション：各種レチクル |
単眼装置、双眼装置,標準付属：カメラポート（観察：カメラ=50:50固定）標準付属：レチクル（鎖線十字線線幅5µm）,オプション：各種レチクル |
観察部 観察像 |
正立像 |
正立像 |
正立像 |
正立像 |
正立像 |
観察部 観察方法 |
明視野 |
明視野 |
明視野 |
明視野 |
明視野 |
対物レンズ 倍率 |
3× |
3× |
3× |
3× |
3× |
接眼レンズ 倍率 |
10× |
10× |
10× |
10× |
10× |
ステージ 測定範囲(mm) |
100×100 |
200×100 |
200×170 |
300×170 |
400×200 |
測定精度(20℃ 無負荷時)(µm) |
（2.2+0.02L）L：測定長（mm） |
（2.2+0.02L）L：測定長（mm） |
（2.2+0.02L）L：測定長（mm） |
（2.2+0.02L）L：測定長（mm） |
（2.2+0.02L）L：測定長（mm） |
観察部 附視角(°) |
25 |
25 |
25 |
25 |
25 |
ステージ 最大積載量(kg) |
10 |
10 |
20 |
20 |
15 |
ステージ 送り機構 |
手動クイックリリース機構（ゼロセットスイッチ内蔵） |
手動クイックリリース機構（ゼロセットスイッチ内蔵） |
手動クイックリリース機構（ゼロセットスイッチ内蔵） |
手動クイックリリース機構（ゼロセットスイッチ内蔵） |
手動クイックリリース機構（ゼロセットスイッチ内蔵） |
Z軸 最大被検物高さ(mm) |
150 |
150 |
220 |
220 |
220 |
Z軸 送り機構 |
手動左右両ハンドル（粗動：30mm/回転、微動：0.2mm/回転） |
手動左右両ハンドル（粗動：30mm/回転、微動：0.2mm/回転） |
手動左右両ハンドル（粗動：30mm/回転、微動：0.2mm/回転） |
手動左右両ハンドル（粗動：30mm/回転、微動：0.2mm/回転） |
手動左右両ハンドル（粗動：30mm/回転、微動：0.2mm/回転） |
出力方式 |
RS-232C 出力,画像ユニット用USB出力 |
RS-232C 出力,画像ユニット用USB出力 |
RS-232C 出力,画像ユニット用USB出力 |
RS-232C 出力,画像ユニット用USB出力 |
RS-232C 出力,画像ユニット用USB出力 |
寸法 照明装置用コントロールユニット(mm) |
114×360×96 |
114×360×96 |
114×360×96 |
114×360×96 |
114×360×96 |
外観寸法(mm) |
562×730×667 |
624×745×667 |
642×892×782 |
692×892×782 |
756×892×782 |
質量(kg) |
70 |
75 |
150 |
160 |
165 |
最大消費電力(W) |
LED仕様：45、ハロゲン仕様：160 |
LED仕様：45、ハロゲン仕様：160 |
LED仕様：45、ハロゲン仕様：160 |
LED仕様：45、ハロゲン仕様：160 |
LED仕様：45、ハロゲン仕様：160 |
ステージ スイベル量(°) |
±5 |
±5 |
±3 |
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