高精度測定顕微鏡 Hyper MFシリーズ

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JIS 規格の0 級を上回る測定精度はX・Y 軸とも(0.9+3L /1000)L:測定長(mm)を実現しました。

主な特長

  • JIS 規格【光学機器 B7153-1995 測定顕微鏡】の0 級※を上回る測定精度はX・Y 軸とも(0.9+3L /1000)L:測定長(mm)を実現しました。
    狭範囲からフルストロークまで超精密検査にお応えします。
    ※0 級(:2+0.01L)μm以下 L:測定長(mm)
  • 被検物の多様化と大形化は半導体・電子部品・精密自動車部品・工具など様々な分野において要望が増えています。リードフレーム・精密刃工具・金型など大形測定に威力を発揮します。
  • XYZ 軸はフロントオペレーションの中枢を担う1本のジョイスティックで駆動操作します。ステージの高速移動から微細な位置決めを行う超低速までスピードコントロールが可能です。また、単軸移動の高精度ピッチ測定をサポートするXYZ 個別のロック機構を備えています。被検物に集中できることを第一に考えています。
  • 鏡筒に装着した電動レボルバは手元のシートスイッチで操作可能です。レボルバが回転すると鏡筒上部のレンズポジションを表すLEDが点灯しますのでLED 表示を見れば現在の倍率を確認することができます。

仕様

符号 HyperMF-B2515B
観察部 観察像
正立像
接眼レンズ 倍率
10×,15×,20×
ステージ 測定範囲(mm)
250×150
デジタル表示 最小表示量(µm)
0.01
鏡筒 光学系
有限補正
鏡筒 光路切換比
観察/TV写真=50/50
鏡筒 標準レクチル(内臓)
90°鎖線十字線(線幅5µm)
ステージ 測定精度(X・Y軸無負荷時)(µm)
(0.9+3L/1000)L:測定長(mm)
ステージ スイベル量(°)
±3
デジタル表示 表示軸
X・Y・Z軸
照明方式1
開口絞り付テレセントリック照明
照明方式2
ケーラー照明・開口絞り付
落射/反射/透過1
透過
落射/反射/透過2
反射
操作部 デジタル表示リセット
操作部 ファインピッチ
鏡筒 附視角
25°
鏡筒 眼幅調節(mm)
51~76
鏡筒 TVポート
標準装備
操作部 データ出力
ステージガラス有効寸法(mm)
300×200
ステージ 上面寸法(mm)
460×350
外観寸法 パワーユニット(mm)
160×476×381
パワーユニット 質量(kg)
14
外観寸法(mm)
880×913×730
質量(kg)
250
電源
AC100、110、120、220、230、240V50/60HZ
最大消費電力(W)
700

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