高精度測定顕微鏡 Hyper MF-Uシリーズ LAFなし
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主な特長
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JIS 規格【光学機器 B7153-1995 測定顕微鏡】の0 級※を上回る測定精度はX・Y 軸とも(0.9+3L /1000)L:測定長(mm)を実現しました。 狭範囲からフルストロークまで超精密検査にお応えします。 ※0 級(:2+0.01L)μm以下 L:測定長(mm)
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被検物の多様化と大形化は半導体・電子部品・精密自動車部品・工具など様々な分野において要望が増えています。リードフレーム・精密刃工具・金型など大形測定に威力を発揮します。
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XYZ 軸はフロントオペレーションの中枢を担う1本のジョイスティックで駆動操作します。ステージの高速移動から微細な位置決めを行う超低速までスピードコントロールが可能です。また、単軸移動の高精度ピッチ測定をサポートするXYZ 個別のロック機構を備えています。被検物に集中できることを第一に考えています。
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鏡筒に装着した電動レボルバは手元のシートスイッチで操作可能です。レボルバが回転すると鏡筒上部のレンズポジションを表すLEDが点灯しますのでLED 表示を見れば現在の倍率を確認することができます。
仕様
符号 | HyperMF-UB2515B | HyperMF-UD2515B |
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観察部 観察像 |
正立像 |
正立像 |
視野 |
明視野 |
明暗視野 |
接眼レンズ 倍率 |
10×,15×,20× |
10×,15×,20× |
ステージ 測定範囲(mm) |
250×150 |
250×150 |
デジタル表示 最小表示量(µm) |
0.01 |
0.01 |
鏡筒 光学系 |
無限遠補正 |
無限遠補正 |
鏡筒 光路切換比 |
観察/TV写真=50/50 |
観察/TV写真=50/50 |
鏡筒 標準レクチル(内臓) |
90°鎖線十字線(線幅5µm) |
90°鎖線十字線(線幅5µm) |
ステージ 測定精度(X・Y軸無負荷時)(µm) |
(0.9+3L/1000)L:測定長(mm) |
(0.9+3L/1000)L:測定長(mm) |
ステージ スイベル量(°) |
±3 |
±3 |
デジタル表示 表示軸 |
X・Y・Z軸 |
X・Y・Z軸 |
操作部 デジタル表示リセット |
有 |
有 |
操作部 ファインピッチ |
有 |
有 |
鏡筒 附視角 |
ティルティング |
ティルティング |
鏡筒 眼幅調節(mm) |
51~76 |
51~76 |
鏡筒 TVポート |
標準装備 |
標準装備 |
操作部 データ出力 |
有 |
有 |
ステージガラス有効寸法(mm) |
300×200 |
300×200 |
ステージ 上面寸法(mm) |
460×350 |
460×350 |
外観寸法 パワーユニット(mm) |
160×476×381 |
160×476×381 |
パワーユニット 質量(kg) |
14 |
14 |
外観寸法(mm) |
880×913×770 |
880×913×770 |
質量(kg) |
255 |
255 |
電源 |
AC100、110、120、220、230、240V50/60HZ |
AC100、110、120、220、230、240V50/60HZ |
最大消費電力(W) |
700 |
700 |
各種ダウンロード
アクセサリ・オプション
接眼レンズ WF20×/12
- コードNo
- 378-858
M Plan Apo 7.5×
- コードNo
- 378-807-3
M Plan Apo 10×
- コードNo
- 378-803-3
M Plan Apo 20×
- コードNo
- 378-804-3
M Plan Apo 50×
- コードNo
- 378-805-3
M Plan Apo HR 50×
- コードNo
- 378-814-4
M Plan Apo 100×
- コードNo
- 378-806-3
M Plan Apo SL 20×
- コードNo
- 378-810-3
M Plan Apo SL 100×
- コードNo
- 378-813-3
G Plan Apo 20× (t3.5)
- コードNo
- 378-847
技術仕様
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