CNC表面粗さ測定機 SURFTEST Extreme SV-3000 CNC

測定範囲 X軸(mm) : 200 測定範囲 Y軸(mm) : 200
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高速位置決めでき、複数断面測定や複数ワーク測定の高スループット化が可能です。

商品バリエーション

主な特長

  • X1・Y・Z2軸の最大駆動速度は、最大200mm/sで高速位置決めでき、複数断面測定や複数ワーク測定の高スループット化が可能です。
  • X・Y軸方向の2軸同時制御による斜め測定が可能です。
  • α軸付のタイプでは、X1軸を電動傾斜により水平面、斜面の連続測定が可能です。
  • Y方向に測定領域が拡大するため、複数ワークの一括測定も実現できます。
  • Z1軸検出器は、測定力0.75mNタイプを標準搭載しております。

仕様

符号 SV-3000SCNC SV-3000SCNC(駆動部傾斜α軸) SV-3000HCNC SV-3000HCNC(駆動部傾斜α軸)
測定範囲 X軸(mm)
200
200
200
200
測定範囲 Y軸(mm)
200
200
200
200
駆動速度 J/S mode X軸(mm/s)
0~50
0~50
0~50
0~50
駆動速度 J/S mode Y軸(mm/s)
0~50
0~50
0~50
0~50
駆動速度 J/S mode Z2軸(mm/s)
0~50
0~50
0~50
0~50
分解能 X軸(µm)
0.05
0.05
0.05
0.05
分解能 Y軸(µm)
0.05
0.05
0.05
0.05
分解能 Z2軸 (µm)
0.05
0.05
0.05
0.05
測定速度 X軸 表面粗さ(mm/s)
0.02~2
0.02~2
0.02~2
0.02~2
駆動速度 CNC mode X軸(mm/s)
最大200
最大200
最大200
最大200
駆動範囲 Z2軸(mm)
300
300
500
500
駆動速度 CNC mode Y軸(mm/s)
最大200
最大200
最大200
最大200
駆動速度 CNC mode Z2軸(mm/s)
最大200
最大200
最大200
最大200
指示精度 Y軸
±(2+2L/100)μm L: 任意2点間寸法(mm)
±(2+2L/100)μm L: 任意2点間寸法(mm)
±(2+2L/100)μm L: 任意2点間寸法(mm)
±(2+2L/100)μm L: 任意2点間寸法(mm)
指示精度 Z2軸
α軸無機種,±(1.5+|10H| /1000)μm H: Z2軸測定高さ(mm)
α軸無機種,±(1.5+|10H| /1000)μm H: Z2軸測定高さ(mm)
測長ユニット X軸
反射形リニアエンコーダ
反射形リニアエンコーダ
反射形リニアエンコーダ
反射形リニアエンコーダ
測長ユニット Y軸
反射形リニアエンコーダ
反射形リニアエンコーダ
反射形リニアエンコーダ
反射形リニアエンコーダ
測長ユニット Z2軸
反射形リニアエンコーダ
反射形リニアエンコーダ
反射形リニアエンコーダ
反射形リニアエンコーダ
最大積載質量 Y軸テーブル(kg)
20
20
20
20
ベース材質
はんれい岩
はんれい岩
はんれい岩
はんれい岩
保存環境温度範囲(℃)
-10~50
-10~50
-10~50
-10~50
保存環境湿度範囲(非結露)(%RH)
5~90(ただし、結露しないこと)
5~90(ただし、結露しないこと)
5~90(ただし、結露しないこと)
5~90(ただし、結露しないこと)
使用環境温度範囲(℃)
15~25
15~25
15~25
15~25
使用環境湿度範囲(非結露)(%RH)
20~80(ただし、結露しないこと)
20~80(ただし、結露しないこと)
20~80(ただし、結露しないこと)
20~80(ただし、結露しないこと)
ベースサイズ(mm)
750×600
750×600
750×600
750×600
Y軸テーブル(mm)
200×200
200×200
200×200
200×200
Y軸テーブル 質量(kg)
35
35
35
35
本体(mm)
800×620×1000
800×620×1000
800×620×1000
800×620×1000
その他
α軸傾斜角度:-45°(反時計回り)、+10°(時計回り)
α軸傾斜角度:-45°(反時計回り)、+10°(時計回り)
傾斜角度分解能(°)

                                                                                                      
0.000225

                                                                                                      
0.000225
α軸部 質量(kg)

                                                                                                      
9

                                                                                                      
9
真直精度 X軸 表面粗さ

                                                                                                      

                                                                                                      
0.5μm/200mm
0.5μm/200mm

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