CNC表面粗さ測定機 SURFTEST Extreme SV-3000 CNC
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商品バリエーション
主な特長
-
X1・Y・Z2軸の最大駆動速度は、最大200mm/sで高速位置決めでき、複数断面測定や複数ワーク測定の高スループット化が可能です。
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X・Y軸方向の2軸同時制御による斜め測定が可能です。
-
α軸付のタイプでは、X1軸を電動傾斜により水平面、斜面の連続測定が可能です。
-
Y方向に測定領域が拡大するため、複数ワークの一括測定も実現できます。
-
Z1軸検出器は、測定力0.75mNタイプを標準搭載しております。
仕様
| 符号 | SV-3000SCNC | SV-3000SCNC(駆動部傾斜α軸) | SV-3000HCNC | SV-3000HCNC(駆動部傾斜α軸) |
|---|---|---|---|---|
測定範囲 X軸(mm) |
200 |
200 |
200 |
200 |
測定範囲 Y軸(mm) |
200 |
200 |
200 |
200 |
駆動速度 J/S mode X軸(mm/s) |
0～50 |
0～50 |
0～50 |
0～50 |
駆動速度 J/S mode Y軸(mm/s) |
0～50 |
0～50 |
0～50 |
0～50 |
駆動速度 J/S mode Z2軸(mm/s) |
0～50 |
0～50 |
0～50 |
0～50 |
測定範囲 Z1軸 表面粗さ(µm) |
800/80/8 |
800/80/8 |
800/80/8 |
800/80/8 |
分解能 X軸(µm) |
0.05 |
0.05 |
0.05 |
0.05 |
分解能 Y軸(µm) |
0.05 |
0.05 |
0.05 |
0.05 |
分解能 Z1軸 表面粗さ(µm) |
0.01/0.001/0.0001 |
0.01/0.001/0.0001 |
0.01/0.001/0.0001 |
0.01/0.001/0.0001 |
分解能 Z2軸 (µm) |
0.05 |
0.05 |
0.05 |
0.05 |
測定方向 表面粗さ |
引き方向 |
引き方向 |
引き方向 |
引き方向 |
測定面方向 表面粗さ |
下方向 |
下方向 |
下方向 |
下方向 |
測定速度 X軸 表面粗さ(mm/s) |
0.02～2 |
0.02～2 |
0.02～2 |
0.02～2 |
駆動速度 CNC mode X軸(mm/s) |
最大200 |
最大200 |
最大200 |
最大200 |
駆動範囲 Z2軸(mm) |
300 |
300 |
500 |
500 |
駆動速度 CNC mode Y軸(mm/s) |
最大200 |
最大200 |
最大200 |
最大200 |
駆動速度 CNC mode Z2軸(mm/s) |
最大200 |
最大200 |
最大200 |
最大200 |
スタイラス先端形状 表面粗さ |
60 |
60 |
60 |
60 |
真直精度 X軸 表面粗さ |
0.5μm/200mm |
0.5μm/200mm |
0.5μm/200mm |
0.5μm/200mm |
真直精度 Y軸 表面粗さ |
0.5μm/200mm |
0.5μm/200mm |
0.5μm/200mm |
0.5μm/200mm |
指示精度 Y軸 |
±(2+2L/100)μm L： 任意2点間寸法(mm) |
±(2+2L/100)μm L： 任意2点間寸法(mm) |
±(2+2L/100)μm L： 任意2点間寸法(mm) |
±(2+2L/100)μm L： 任意2点間寸法(mm) |
指示精度 Z2軸 |
α軸無機種,±(1.5+|10H| /1000)μm H： Z2軸測定高さ(mm) |
α軸無機種,±(1.5+|10H| /1000)μm H： Z2軸測定高さ(mm) |
α軸無機種,±(1.5+|10H| /1000)μm H： Z2軸測定高さ(mm) |
α軸無機種,±(1.5+|10H| /1000)μm H： Z2軸測定高さ(mm) |
測定力 表面粗さ(mN) |
0.75 |
0.75 |
0.75 |
0.75 |
測長ユニット X軸 |
反射形リニアエンコーダ |
反射形リニアエンコーダ |
反射形リニアエンコーダ |
反射形リニアエンコーダ |
測長ユニット Y軸 |
反射形リニアエンコーダ |
反射形リニアエンコーダ |
反射形リニアエンコーダ |
反射形リニアエンコーダ |
測長ユニット Z2軸 |
反射形リニアエンコーダ |
反射形リニアエンコーダ |
反射形リニアエンコーダ |
反射形リニアエンコーダ |
傾斜角度分解能(°) |
0.000225 |
0.000225 |
0.000225 |
0.000225 |
最大積載質量 Y軸テーブル(kg) |
20 |
20 |
20 |
20 |
ベース材質 |
はんれい岩 |
はんれい岩 |
はんれい岩 |
はんれい岩 |
保存環境温度範囲(℃) |
-10~50 |
-10~50 |
-10~50 |
-10~50 |
保存環境湿度範囲(非結露)(%RH) |
5~90（ただし、結露しないこと） |
5~90（ただし、結露しないこと） |
5~90（ただし、結露しないこと） |
5~90（ただし、結露しないこと） |
使用環境温度範囲(℃) |
5～40 |
5～40 |
5～40 |
5～40 |
使用環境湿度範囲(非結露)(%RH) |
20～80（ただし、結露しないこと） |
20～80（ただし、結露しないこと） |
20～80（ただし、結露しないこと） |
20～80（ただし、結露しないこと） |
ベースサイズ(mm) |
750×600 |
750×600 |
750×600 |
750×600 |
Y軸テーブル(mm) |
200×200 |
200×200 |
200×200 |
200×200 |
Y軸テーブル 質量(kg) |
35 |
35 |
35 |
35 |
α軸部 質量(kg) |
9 |
9 |
9 |
9 |
本体(mm) |
800×620×1000 |
800×620×1000 |
800×620×1200 |
800×620×1200 |
本体質量(kg) |
240 |
240 |
240 |
240 |
電源 |
100~120V、200~240V |
100~120V、200~240V |
100~120V、200~240V |
100~120V、200~240V |
消費電力 |
500W |
500W |
500W |
500W |
その他 |
α軸傾斜角度：-45°(反時計回り)、+10°(時計回り) |
α軸傾斜角度：-45°(反時計回り)、+10°(時計回り) |
α軸傾斜角度：-45°(反時計回り)、+10°(時計回り) |
α軸傾斜角度：-45°(反時計回り)、+10°(時計回り) |
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