ハイブリッド表面性状測定機 FORMTRACER CS-3300シリーズ

測定範囲 X軸(mm) : 100 測定範囲 Z1軸 標準(µm) : 5000
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ワイドレンジ&高分解能な検出器を搭載し、輪郭測定から表面粗さ測定まで幅広くカバー。

商品バリエーション

主な特長

  • 送り装置(X軸)には高精度リニヤスケール、コラム(Z2軸)にABS(絶対原点)スケールを搭載していますので、上下、左右の動作を組み合わせた全自動測定が可能です。
    上下方向の連続自動測定や位置決めが困難なパーツの繰り返し測定の再現性が向上します。
  • 送り装置(X軸):80 mm/s、コラム(Z2軸):30 mm/sの高速駆動による移動時間の短縮のみならず、小穴測定時の位置決めに不可欠な微動つまみ(手動)を標準装備
  • 検出器のスライド機構を採用し、測定パーツの形状に応じ、駆動部に干渉しない測定領域での測定が可能です。
    
  • 検出器、駆動部などのケーブルを全て本体内配線にすることにより測定誤差要因となる配線の擦れをなくし高速駆動に対応しています。
  • 送り装置(X軸)傾斜装置は、傾斜面や姿勢変更が困難な重量物の測定時に威力を発揮します。

仕様

符号 CS-3300S4 CS-3300H4 CS-3300W4 CS-3300L4 CS-3300S8 CS-3300H8 CS-3300W8 CS-3300L8
 測定範囲 X軸(mm)
100
100
100
100
200
200
200
200
 分解能 X軸(µm)
0.05
0.05
0.05
0.05
0.05
0.05
0.05
0.05
 分解能 Z2軸 (µm)
1
1
1
1
1
1
1
1
 測定方向 表面粗さ
押し引き両方向
押し引き両方向
押し引き両方向
押し引き両方向
押し引き両方向
押し引き両方向
押し引き両方向
押し引き両方向
 測定面方向 表面粗さ
下方向
下方向
下方向
下方向
下方向
下方向
下方向
下方向
 測定速度 X軸 表面粗さ(mm/s)
0.02,0.05,0.1,0.2
0.02,0.05,0.1,0.2
0.02,0.05,0.1,0.2
0.02,0.05,0.1,0.2
0.02,0.05,0.1,0.2
0.02,0.05,0.1,0.2
0.02,0.05,0.1,0.2
0.02,0.05,0.1,0.2
 駆動速度 X軸(mm/s)
ソフトウェア:0~80,リモートボックス操作:0~40
ソフトウェア:0~80,リモートボックス操作:0~40
ソフトウェア:0~80,リモートボックス操作:0~40
ソフトウェア:0~80,リモートボックス操作:0~40
ソフトウェア:0~80,リモートボックス操作:0~40
ソフトウェア:0~80,リモートボックス操作:0~40
ソフトウェア:0~80,リモートボックス操作:0~40
ソフトウェア:0~80,リモートボックス操作:0~40
 測定速度 X軸 輪郭形状(mm/s)
0.02,0.05,0.1,0.2,0.5,1.0,2.0,5.0,10,20,30
0.02,0.05,0.1,0.2,0.5,1.0,2.0,5.0,10,20,30
0.02,0.05,0.1,0.2,0.5,1.0,2.0,5.0,10,20,30
0.02,0.05,0.1,0.2,0.5,1.0,2.0,5.0,10,20,30
0.02,0.05,0.1,0.2,0.5,1.0,2.0,5.0,10,20,30
0.02,0.05,0.1,0.2,0.5,1.0,2.0,5.0,10,20,30
0.02,0.05,0.1,0.2,0.5,1.0,2.0,5.0,10,20,30
0.02,0.05,0.1,0.2,0.5,1.0,2.0,5.0,10,20,30
 測定範囲 Z1軸 標準(µm)
5000
5000
5000
5000
5000
5000
5000
5000
 分解能 Z1軸 標準(µm)
0.08/5mm,0.008/0.5mm,0.0008/0.05mm
0.08/5mm,0.008/0.5mm,0.0008/0.05mm
0.08/5mm,0.008/0.5mm,0.0008/0.05mm
0.08/5mm,0.008/0.5mm,0.0008/0.05mm
0.08/5mm,0.008/0.5mm,0.0008/0.05mm
0.08/5mm,0.008/0.5mm,0.0008/0.05mm
0.08/5mm,0.008/0.5mm,0.0008/0.05mm
0.08/5mm,0.008/0.5mm,0.0008/0.05mm
 駆動速度 Z2軸(mm/s)
ソフトウェア:0~30,リモートボックス操作:0~30
ソフトウェア:0~30,リモートボックス操作:0~30
ソフトウェア:0~30,リモートボックス操作:0~30
ソフトウェア:0~30,リモートボックス操作:0~30
ソフトウェア:0~30,リモートボックス操作:0~30
ソフトウェア:0~30,リモートボックス操作:0~30
ソフトウェア:0~30,リモートボックス操作:0~30
ソフトウェア:0~30,リモートボックス操作:0~30
 真直精度 X軸 標準スタイラス
通常0.2 μm / 100 mm
通常0.2 μm / 100 mm
通常0.2 μm / 100 mm
通常0.2 μm / 100 mm
通常0.6 μm / 200 mm
通常0.6 μm / 200 mm
通常0.6 μm / 200 mm
通常0.6 μm / 200 mm
 真直精度 X軸 2倍スタイラス
最大0.4 μm / 100 mm
最大0.4 μm / 100 mm
最大0.4 μm / 100 mm
最大0.4 μm / 100 mm
最大1.2 μm / 200 mm
最大1.2 μm / 200 mm
最大1.2 μm / 200 mm
最大1.2 μm / 200 mm
 指示精度 X軸 輪郭形状
±(0.8+0.01L) μm L=駆動長さ(mm)広範囲: 1.8 μm / 100 mm狭範囲:1.05 μm / 25 mm
±(0.8+0.01L) μm L=駆動長さ(mm)広範囲: 1.8 μm / 100 mm狭範囲:1.05 μm / 25 mm
±(0.8+0.01L) μm L=駆動長さ(mm)広範囲: 1.8 μm / 100 mm狭範囲:1.05 μm / 25 mm
±(0.8+0.01L) μm L=駆動長さ(mm)広範囲: 1.8 μm / 100 mm狭範囲:1.05 μm / 25 mm
±(0.8+0.015L)μm L=駆動長さ(mm),広範囲:3.8 μm/200mm,狭範囲:1.2 μm/25mm 
±(0.8+0.015L)μm L=駆動長さ(mm),広範囲:3.8 μm/200mm,狭範囲:1.2 μm/25mm 
±(0.8+0.015L)μm L=駆動長さ(mm),広範囲:3.8 μm/200mm,狭範囲:1.2 μm/25mm 
±(0.8+0.015L)μm L=駆動長さ(mm),広範囲:3.8 μm/200mm,狭範囲:1.2 μm/25mm 
 指示精度 Z1軸 輪郭形状
±(1.5+|2H|/ 100) μm H=水平位置からの測定高さ(mm)
±(1.5+|2H|/ 100) μm H=水平位置からの測定高さ(mm)
±(1.5+|2H|/ 100) μm H=水平位置からの測定高さ(mm)
±(1.5+|2H|/ 100) μm H=水平位置からの測定高さ(mm)
±(1.5+|2H|/ 100) μm H=水平位置からの測定高さ(mm)
±(1.5+|2H|/ 100) μm H=水平位置からの測定高さ(mm)
±(1.5+|2H|/ 100) μm H=水平位置からの測定高さ(mm)
±(1.5+|2H|/ 100) μm H=水平位置からの測定高さ(mm)
 測長ユニット X軸
光学式反射形リニアエンコーダ
光学式反射形リニアエンコーダ
光学式反射形リニアエンコーダ
光学式反射形リニアエンコーダ
光学式反射形リニアエンコーダ
光学式反射形リニアエンコーダ
光学式反射形リニアエンコーダ
光学式反射形リニアエンコーダ
 測長ユニット Z2軸
電磁誘導方式アブソリュートリニアエンコーダ
電磁誘導方式アブソリュートリニアエンコーダ
電磁誘導方式アブソリュートリニアエンコーダ
電磁誘導方式アブソリュートリニアエンコーダ
電磁誘導方式アブソリュートリニアエンコーダ
電磁誘導方式アブソリュートリニアエンコーダ
電磁誘導方式アブソリュートリニアエンコーダ
電磁誘導方式アブソリュートリニアエンコーダ
 除振台/ユニット 搭載許容質量(kg)
250
250
350
350
250
250
350
350
 除振台/ユニット 除震機構
ダイヤフラム型空気ばね
ダイヤフラム型空気ばね
ダイヤフラム型空気ばね
ダイヤフラム型空気ばね
ダイヤフラム型空気ばね
ダイヤフラム型空気ばね
ダイヤフラム型空気ばね
ダイヤフラム型空気ばね
 除振台/ユニット 供給空気圧(MPa)
0.4~0.7
0.4~0.7
0.4~0.7
0.4~0.7
0.4~0.7
0.4~0.7
0.4~0.7
0.4~0.7
 X軸傾斜角度(°)
±45
±45
±45
±45
±45
±45
±45
±45
 測長ユニット Z1軸
差動インダクタンス
差動インダクタンス
差動インダクタンス
差動インダクタンス
差動インダクタンス
差動インダクタンス
差動インダクタンス
差動インダクタンス
 スタイラス上下動
円弧運動
円弧運動
円弧運動
円弧運動
円弧運動
円弧運動
円弧運動
円弧運動
 追従角度 登り(°)
65
65
65
65
65
65
65
65
 追従角度 下り(°)
65
65
65
65
65
65
65
65
 測定力 標準(mN)
0.75
0.75
0.75
0.75
0.75
0.75
0.75
0.75
 通信インターフェイス
USB
USB
USB
USB
USB
USB
USB
USB
 ベース材質
はんれい岩
はんれい岩
はんれい岩
はんれい岩
はんれい岩
はんれい岩
はんれい岩
はんれい岩
 精度保証 温度範囲(℃)
20±1
20±1
20±1
20±1
20±1
20±1
20±1
20±1
 精度保証 温度勾配(℃/h)
2.0/8
2.0/8
2.0/8
2.0/8
2.0/8
2.0/8
2.0/8
2.0/8
 保存環境温度範囲(℃)
-10~50
-10~50
-10~50
-10~50
-10~50
-10~50
-10~50
-10~50
 保存環境湿度範囲(非結露)(%RH)
5~90(ただし、結露しないこと)
5~90(ただし、結露しないこと)
5~90(ただし、結露しないこと)
5~90(ただし、結露しないこと)
5~90(ただし、結露しないこと)
5~90(ただし、結露しないこと)
5~90(ただし、結露しないこと)
5~90(ただし、結露しないこと)
 使用環境温度範囲(℃)
5~40( 校正時と測定時の温度変化は±1℃以内)
5~40( 校正時と測定時の温度変化は±1℃以内)
5~40( 校正時と測定時の温度変化は±1℃以内)
5~40( 校正時と測定時の温度変化は±1℃以内)
5~40( 校正時と測定時の温度変化は±1℃以内)
5~40( 校正時と測定時の温度変化は±1℃以内)
5~40( 校正時と測定時の温度変化は±1℃以内)
5~40( 校正時と測定時の温度変化は±1℃以内)
 使用環境湿度範囲(非結露)(%RH)
20~80(ただし、結露しないこと)
20~80(ただし、結露しないこと)
20~80(ただし、結露しないこと)
20~80(ただし、結露しないこと)
20~80(ただし、結露しないこと)
20~80(ただし、結露しないこと)
20~80(ただし、結露しないこと)
20~80(ただし、結露しないこと)
 ベースサイズ(mm)
600×450 
600×450 
1000×450 
1000×450 
600×450 
600×450 
1000×450 
1000×450 
 リモートボックス(mm)
248×102×62
248×102×62
248×102×62
248×102×62
248×102×62
248×102×62
248×102×62
248×102×62
 リモートボックス 質量(kg)
0.9
0.9
0.9
0.9
0.9
0.9
0.9
0.9
 除振台(mm)
830×800×700
830×800×700
1280×940×700
1280×940×700
830×800×700
830×800×700
1280×940×700
1280×940×700
 本体(mm)
759×482×966
759×482×1166
1159×482×1176
1159×492×1430
769×482×966
769×482×1166
1169×482×1176
1169×492×1430
 本体質量(kg)
140
150
220
270
140
150
220
270
 除振台 質量(kg)
155
155
240
240
155
155
240
240
 電源
100~120 V、200~240 V ±10%、AC50/60 Hz
100~120 V、200~240 V ±10%、AC50/60 Hz
100~120 V、200~240 V ±10%、AC50/60 Hz
100~120 V、200~240 V ±10%、AC50/60 Hz
100~120 V、200~240 V ±10%、AC50/60 Hz
100~120 V、200~240 V ±10%、AC50/60 Hz
100~120 V、200~240 V ±10%、AC50/60 Hz
100~120 V、200~240 V ±10%、AC50/60 Hz
 消費電力
400 W
400 W
400 W
400 W
400 W
400 W
400 W
400 W
 その他
Z2軸(コラム)移動範囲:300mm
Z2軸(コラム)移動範囲:500mm
Z2軸(コラム)移動範囲:500mm
Z2軸(コラム)移動範囲:700mm
Z2軸(コラム)移動範囲:300mm
Z2軸(コラム)移動範囲:500mm
Z2軸(コラム)移動範囲:500mm
Z2軸(コラム)移動範囲:700mm

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