高精度・低測定力スキャニングプローブ MPP-310Q

分解能(µm) : 0.01
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最小0.03Nの低測定力と高速スキャニングに対応した超高精度スキャニングプローブです。

主な特長

  • MPP-310Qは、スキャニング測定【測定物に接触した状態で移動しながら、大量の座標値を収集する測定方法。】をV2≦0.3μm(LEGEX搭載時の参考値)で行える他、超高精度ポイント測定(σ≦0.1μm:LEGEX搭載時)や、求心ポイント測定によるデータ収集も可能なCNC三次元測定機用の多機能プローブです。
  • MPP-310Qの内部にはX、Y、Z各軸方向に最小表示量0.01μmの超高精度スケールが組込まれており、スタイラスの変位量を読みとります。各軸のスライド部分にはエアベアリングを採用し、方向性の極めて小さなプロービングを実現しています。
  • タッチトリガープローブは、実際にスタイラスが測定物に接触した瞬間のトリガーを発生させる力は小さくても、その後の押し込み時に数十~数百グラムの力がかかります。また、他社のスキャニングプローブには、ロングスタイラスへの対応などのために、モータドライブによって強制的にプロービング位置を指定する構造となっているものがあり、どうしても実際の測定力が大きくなってしまいます。MPP-310Qは測定力を最小0.03Nまで落とすことができ、樹脂などの弾性体でも傷つけることなく測定することができます。
  • スキャニング測定には、未知形状を自動追尾しながらスキャニングする方法(未知形状スキャニング)と軌跡を事前に与えてスキャニングさせる方法(既知形状スキャニング)とがあります。既知形状スキャニングでは、最大120mm/sでの高速スキャニングが可能です。従来、線や円などの幾何形状要素測定は、ポイント測定で評価することが普通でしたが、超精密加工における平面度や真円度評価については、より多くの測定点で評価することが、測定結果の信頼性を向上させることになります。しかし、これをタッチトリガープローブで1点1点測定するとなると、非常に時間がかかります。MPP-310Qであれば、例えばø100mmの内径を1000点測定する場合でも数秒で測定が完了します。必要とする測定精度に応じて、スキャニング速度を変え、より効率的に測定をすすめることができます。
  • ロータリーテーブルMRT320を使った同期スキャニングやオートスタイラスチェンジシステムなどのオプションも用意しています。

仕様

符号 MPP-310Q
 測定範囲
±1mm
 最大スキャニング速度(既知形状スキャニング時)(mm/s)
120
 最大測定子長さ(mm)
200
 測定子取付ネジ
M4ネジ
 分解能(µm)
0.01
 スプリングレート(N/mm)
0.2

外観寸法図

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