マニュアルプローブヘッド MIH

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手動で720姿勢(方向)への位置決めを行うことができます。

主な特長

  • MIHは、手動で720姿勢(方向)への位置決めを行うことができます。繰り返し位置決め精度もσ≦1.5μmと高いため、姿勢変更を繰り返し必要とする複雑な立体形状測定の場合には、予め必要姿勢を登録しておけば、姿勢変更による再キャリブレーションが不要となり、測定効率の向上が図れます。MIH本体の液晶表示で、現在位置を確認することもできます。
  • MIHには、最大300mmのプローブエクステンションを搭載することができます。例えば、TP2-5W+50mmスタイラスを組み合わせると、約400mmの長さまでプローブ到達位置を伸ばすことができます。

仕様

符号 MIH
 姿勢範囲 横方向(°)
±180(7.5ピッチ 48ポジション)
 姿勢範囲 縦方向(°)
0~105(7.5ピッチ 15ポジション)
 繰返し位置決め精度(µm)
σ≦1.5

外観寸法図

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