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「高精度加工を支える最新の測定工具」高精度デジマチックマイクロメータ MDH-25M
研究開発本部 商品開発部 辻 勝三郎 林田 秀二

1. はじめに
図1 MDH-25Mの外観
機械部品の高精度化の要求に伴い、加工技術も目覚しい発展を遂げています。精密測定機器もサブマイクロメートルオーダの高精度測定の要求が年々増加してきており、これらの要求にお応えするため、高精度測定に対応した測定機器が市場に投入されてきました。超高精度な三次元測定機などの大形の測定機器を除き、比較的簡単にサブマイクロメートルオーダの測定ができる精密測定機器として昔から電気マイクロメータや指針測微器による比較測定がよく知られています。近年は最小表示量が0.1〜0.01 µmのデジタル式の接触式、非接触式の精密測定機器も一般化してきています。
一方、これらの測定機器は一般的に測定器を取り付けるスタンドや治具などに取り付けて使用するため、基本的には据え置き形の測定器として使用されること、また、比較測定の多くの場合は比較測定用の基準ゲージを必要とし基準ゲージの管理、校正等にも煩わしさがありました。そのため、多種少量部品等の測定器としては不便を感じたり、さらに価格についても測定可能なシステムとして構成するには高価となり、測定の頻度や要求する精度等から敬遠される場合も多くありました。このような背景から、以前より測定工具で最も高精度測定が可能なマイクロメータでサブマイクロメートルオーダの測定をしたいという要望が多くよせられていました。この度、このような要望に応えるべく、最小表示量0.0001 mm(0.1µm)、器差±0.5 µmの高精度デジマチックマイクロメータMDH-25Mを開発しました。(図1
デジタル式マイクロメータの変遷
1979年に最小表示量0.001 mmのデジタル式マイクロメータを発売して以来、デジタル式マイクロメータはピッチ0.5 mmのねじをロータリエンコーダで500分割し、0.001 mmで読み取ることができる測定工具では、最も高精度測定が可能な簡便な測定器として使用されてきました。2003年には、デジタル式マイクロメータを加工現場でも使用したいという要望に応え、保護等級IP-65のクーラントプルーフマイクロメータMDC-25MJ, PJシリーズを発売し、現在もデジタル式マイクロメータのスタンダードとして最も多く採用いただいています。さらに、2007年にはマイクロメータの測定効率を向上させるべく、マイクロメータのこれまでの常識を覆した次世代形のマイクロメータとして、2 mmリードのデジマチックマイクロメータ「カンタマイク」MDE-MJ, PJシリーズを発売し、市場の大反響を得ました。カンタマイクは2 mmリードのねじで通常のデジタル式マイクロメータと同じ精度を達成するために高精度なハイリードねじ加工技術を開発し、さらに搭載されるロータリエンコーダも 2000分割へと従来のデジタル式マイクロメータの4倍の高分解能化を実現することにより、器差±1µmを達成しました1)。そしてついに、マイクロメータでも最小表示量0.0001 mm(0.1 µm)でサブマイクロメート ルオーダの測定がしたいという、測定工具としては究極の要求に応えるべく高精度デジマチックマイクロメータMDH-25Mは開発されました。前述したねじ式マイクロメータ3機種の仕様比較を以下に示します。(表1
表1 ねじ式マイクロメータの主要仕様比較
※量子化誤差±1カウントを含みません。
3. 商品の概要
(1)特長
ミツトヨ独自の「分解能0.1 µmのABS(絶対)ロータリセンサ」と「高精度ねじ加工技術」により、器差±0.5 µmを達成。従来のマイクロメータと同様の操作性で、高精度測定が可能
「高剛性フレーム」と「高性能定圧機構」により、測定の安定性が向上。また、ラチェット音により確実な作動確認と安心感
手持ち測定時には、防熱カバー(標準付属品)を取り付けることで、手からフレームに伝わる熱を軽減し、フレームの熱膨張による誤差を軽減
ABS(絶対値)方式ロータリセンサにより、電源ON毎の原点合わせが不要で、すぐに測定を行うことができます。また、決してオーバースピードエラーが発生しないので、信頼性も向上
最小表示量の切替(0.0001 mm / 0.0005 mm)、ファンクションロック、プリセット等、多様な測定に対応できる機能を搭載
(2)主な仕様
以下にMDH-25Mの仕様を示します。(表2
表2 MDH-25Mの主な仕様
※量子化誤差±1カウントを含みません。
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