2004.10.27
世界最高の高精度測定が可能な測定顕微鏡“Hyper MF / MF-U”を発売

Hyper MF
Hyper MF

 株式会社ミツトヨ(本社:川崎市高津区、代表取締役社長:手塚和作)は、JIS 0級を遥かに凌ぐ高精度を実現し、操作性も大幅に向上させた高精度測定顕微鏡“Hyper MF/MF-U”を開発し、商品化致しました。本製品は2004年11月1日より東京ビッグサイトにて開催される「第22回日本国際工作機械見本市JIMTOF2004」(ミツトヨブース:西3ホール4階 小間No.W3022)に出品し、2004年11月21日より販売を開始します。

 ミツトヨは、2001年に測定顕微鏡“MF-A/MF-UA”シリーズ”を商品化し、光学測定機メーカとしての地位を確立してきましたが、電子・半導体、IT関連業界、自動車業界を中心にした非接触での高精度な測定ニーズに対応すべく測定機の総合メーカとしてこれまで蓄積してきた技術を結集し高精度測定顕微鏡を開発しました。
 高精度測定顕微鏡“Hyper MF/MF-U”は高剛性ベース上にオーバーハングの無い構造のXYテーブルを載せ、スケールに低膨張ガラススケールを採用することで測定範囲X軸250mm,Y軸150mmの長ストロークと(0.9+3L/1000)μmの高精度と30kgの積載質量を実現しました。
 また、各軸の駆動を電動化しジョイスティック駆動とし、0.1μmレベルの位置合せが可能な微細な送りから最高30mm/secまでの高速送りを実現しています。更にはジョイスティック操作で斜め方向でも思い通りのステージ移動が可能となり、高い操作性を実現しました。
 Hyper MF-Uタイプはオプションでレーザオートフォーカスを搭載可能で追従式のトラッキングフォーカスと繰返し精度の高いジャストフォーカスの2種類のオートフォーカスが可能で、ピント合せの操作性向上と繰返し精度が高いピント合せが可能となります。
 データ処理装置としてQM-Data200または画像ユニットを選択式とし、精度補正機能と豊富な測定機能で高精度な測定を効率良く行うことが可能です。

[価格と販売見込]
標準価格(標準構成の場合):685万円〜(QM-DATA200付・対物レンズ除く)
初年度販売台数見込:30台

[主な特長]
(1)
長ストロークでJIS0級を遥かに凌ぐ測定精度

X,Y軸の測定範囲:250×150mm

X,Y軸の測定精度:(0.9+3L/1000)μm  L=測定長
(2)
ステージの積載可能質量30kgを実現

ステージの積載可能質量を大幅に向上させ、重量物の測定にも対応し、オプションで両センタ台もラインアップし大物刃工具の測定も行えます。
(3)
各軸の駆動を電動化し、ジョイスティックによる駆動を採用し操作性を向上

ジョイスティックの傾斜角度、速度ボリューム、粗微動切換ボタンで低速から高速まで目的に応じた駆動速度を自由に選択できます。
(4)
レーザオートフォーカスの搭載で操作性と繰返し再現性を向上(オプション)

10x以上の対物レンズを使用した際に2σ=0.8μm以下のピント合せの再現性が得られます。
(弊社基準ワークを使用した場合)
(5)
画像測定機としても使用可能

データ処理装置に画像ユニットを選択すれば画像測定が可能となり大幅な測定時間の短縮と、合わせ誤差、個人誤差の少ない高精度測定が可能となります。

[主な仕様]
  Hyper MF Hyper MF-U
鏡筒 有限遠補正光学系 無限遠補正光学系
測定範囲(mm) 250(X軸)x150(Y軸) x150(Z軸)
測定精度 X,Y軸: (0.9+3L/1000)μm L=測定長
Z軸: (1.5+10L/1000)μm  L=測定長
測長ユニット 低膨張ガラススケール(線膨張係数 0.02 *10-6 /℃)
駆動方式 ジョイスティックによる電動駆動
最小表示量 0.01μm
最大積載質量 30kg
透過照明 テレセントリック照明12V50Wファイバー開口絞り付
反射照明 ケーラー照明12V100Wファイバー開口絞り付
本体質量 250kg 255kg

[お客様からの問合せ先]
株式会社ミツトヨ 営業推進グループ
画像光学担当 電話(044)813-5410 ファクス(044)813-5433


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